[發明專利]可靠性測試的方法和裝置

無效

• 申請號: 200710094529.4
• 申請日: 2007-12-13
• 公開（公告）號: CN101458285A
• 公開（公告）日: 2009-06-17
• 發明（設計）人: 廖淼
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 李 麗

1.一種可靠性測試的方法，其特征在于，包括下述步驟：

同時對所有被測器件施加應力條件；

在解除對前一被測器件施加的應力條件、測量其性能參數和記錄其測量數據后，解除對后一被測器件施加的應力條件、測量其性能參數和記錄其測量數據，其中，

第一被解除應力條件的被測器件的應力條件解除時間為預定的應力作用時間點。

2.根據權利要求1所述的可靠性測試的方法，其特征在于，記錄所述第一被解除應力條件的被測器件的測量數據包括記錄被測器件的性能參數和測量時間，記錄其它被測器件的測量數據包括記錄被測器件的性能參數、測量時間和對應的應力作用時間。

3.根據權利要求2所述的可靠性測試的方法，其特征在于，

所述記錄被測器件的測量時間是記錄所述被測器件測量完后的時間點；

所述記錄被測器件的對應的應力作用時間是將前一被測器件測量完后的時間點作為被測器件的對應的應力作用時間記錄。

4.根據權利要求2所述的可靠性測試的方法，其特征在于，

所述記錄被測器件的測量時間是記錄測量所述被測器件所使用的時間；

所述記錄被測器件的對應的應力作用時間是將該被測器件被解除應力條件之前的測量被測器件所使用的時間總和與預定的應力作用時間的和作為被測器件的對應的應力作用時間記錄。

5.根據權利要求1所述的可靠性測試的方法，其特征在于，還包括：在完成對所有的被測器件的一次測試后，對所有的被測器件再次進行測試，直到滿足測試結束的條件。

6.根據權利要求5所述的可靠性測試的方法，其特征在于，所述測試結束的條件是超過了預定的測試時間、超過了預定的測試次數、或者測量得到的性能參數達到了預定的目標值。

7.一種可靠性測試的裝置，其特征在于，包括：

應力施加模塊，與被測器件連接，對被測器件施加應力條件；

測量模塊，與被測器件連接，測量被測器件的性能參數；

記錄模塊，記錄被測器件的測量數據；

控制模塊，控制所述應力施加模塊同時對所有被測器件施加應力條件，在控制所述應力施加模塊解除對前一被測器件施加的應力條件、控制所述測量模塊測量所述前一被測器件的性能參數和控制所述記錄模塊記錄所述前一被測器件的測量數據后，控制所述應力施加模塊解除對后一被測器件施加的應力條件、控制所述測量模塊測量所述后一被測器件的性能參數和控制所述記錄模塊記錄所述后一被測器件的測量數據，其中，所述控制模塊在預定的應力作用時間點控制應力施加模塊解除對第一被解除應力條件的被測器件施加的應力條件。

8.根據權利要求7所述的可靠性測試的裝置，其特征在于，所述記錄模塊記錄的第一被解除應力條件的被測器件的測量數據包括被測器件的性能參數和測量時間，所述記錄模塊記錄的其它被測器件的測量數據包括被測器件的性能參數、測量時間和對應的應力作用時間。

9.根據權利要求8所述的可靠性測試的裝置，其特征在于，所述被測器件的測量時間是所述被測器件測量完后的時間點，所述被測器件的對應的應力作用時間是前一被測器件測量完后的時間點。

10.根據權利要求8所述的可靠性測試的裝置，其特征在于，所述被測器件的測量時間是測量所述被測器件所使用的時間，所述被測器件的對應的應力作用時間是該被測器件被解除應力條件之前的測量被測器件所使用的時間總和與預定的應力作用時間的和。