[發(fā)明專利]投影曝光裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710092240.9
• 申請(qǐng)日: 2007-04-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101063826A
• 公開(kāi)（公告）日: 2007-10-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 佐藤仁;中澤朗;百瀨克己
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社ORC制作所
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;H01L21/027
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 黃綸偉

1.一種投影曝光裝置，該投影曝光裝置使用配置于鉛直方向上的曝光臺(tái)，利用照射光將掩模的圖案投影在膜帶狀的工件上而進(jìn)行曝光，其特征在于，該投影曝光裝置包括：

搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，其將所述工件于鉛直方向上朝所述曝光臺(tái)移動(dòng)；以及

投影光學(xué)機(jī)構(gòu)，其具有戴森光學(xué)系統(tǒng)，該戴森光學(xué)系統(tǒng)配置在與該搬運(yùn)機(jī)構(gòu)以所述曝光臺(tái)為邊界的相鄰位置上，

所述戴森光學(xué)系統(tǒng)配置成使得入射到該戴森光學(xué)系統(tǒng)的照射光的光軸以及從該戴森光學(xué)系統(tǒng)射出的照射光的光軸與所述曝光臺(tái)的工件成正交。

2.如權(quán)利要求1所述的投影曝光裝置，其特征在于，上述曝光臺(tái)能夠在從上述戴森光學(xué)系統(tǒng)射出的照射光的光軸方向上移動(dòng)。

3.如權(quán)利要求1或2所述的投影曝光裝置，其特征在于，該投影曝光裝置還包括：

工件表面位置測(cè)定裝置，其配置成能夠插入于上述戴森光學(xué)系統(tǒng)與上述曝光臺(tái)之間的曝光區(qū)域或從該曝光區(qū)域退避開(kāi)，該工件表面位置測(cè)定裝置測(cè)定上述光軸方向上的上述工件表面的位置；以及

標(biāo)記取得裝置，其配置成能夠插入于上述戴森光學(xué)系統(tǒng)與上述曝光臺(tái)之間的曝光區(qū)域或從該曝光區(qū)域退避開(kāi)，該標(biāo)記取得裝置取得圖像以用于確認(rèn)與上述光軸方向正交的方向上的上述工件的位置偏移量，

根據(jù)上述工件表面位置測(cè)定裝置測(cè)得的表面的位置信息，上述曝光臺(tái)于光軸方向上移動(dòng)，同時(shí)根據(jù)上述標(biāo)記取得裝置所測(cè)得的位置偏移量的信息使上述掩模移動(dòng)。

4.如權(quán)利要求1，2中任一項(xiàng)所述的投影曝光裝置，其特征在于，

上述搬運(yùn)機(jī)構(gòu)包括：送出上述工件的供給卷軸；引導(dǎo)從該供給卷軸送出的上述工件的供給側(cè)第一引導(dǎo)滾子以及供給側(cè)第二引導(dǎo)滾子；對(duì)在該供給側(cè)第一引導(dǎo)滾子以及供給側(cè)第二引導(dǎo)滾子之間被引導(dǎo)的上述工件施加張力的第一張力調(diào)整裝置；將來(lái)自上述供給側(cè)第二引導(dǎo)滾子的上述工件沿著上述曝光臺(tái)輸送，配置于該曝光臺(tái)的上方及下方的第一搬運(yùn)滾子以及第二搬運(yùn)滾子；引導(dǎo)來(lái)自該第二搬運(yùn)滾子的上述工件的卷繞側(cè)第一引導(dǎo)滾子以及卷繞側(cè)第二引導(dǎo)滾子；對(duì)于通過(guò)該卷繞側(cè)第一引導(dǎo)滾子以及卷繞側(cè)第二引導(dǎo)滾子之間被引導(dǎo)的上述工件施加張力的第二張力調(diào)整裝置；以及卷繞來(lái)自上述卷繞側(cè)第二引導(dǎo)滾子的上述工件的卷繞卷軸，

上述供給卷軸、上述供給側(cè)第一引導(dǎo)滾子、上述供給側(cè)第二引導(dǎo)滾子、上述第一張力調(diào)整裝置以及上述第一搬運(yùn)滾子配置于上述第二搬運(yùn)滾子、上述卷繞側(cè)第一引導(dǎo)滾子、上述卷繞側(cè)第二引導(dǎo)滾子、上述第二張力調(diào)整裝置以及上述卷繞卷軸的上方。

5.如權(quán)利要求3所述的投影曝光裝置，其特征在于，

上述搬運(yùn)機(jī)構(gòu)包括：送出上述工件的供給卷軸；引導(dǎo)從該供給卷軸送出的上述工件的供給側(cè)第一引導(dǎo)滾子以及供給側(cè)第二引導(dǎo)滾子；對(duì)在該供給側(cè)第一引導(dǎo)滾子以及供給側(cè)第二引導(dǎo)滾子之間被引導(dǎo)的上述工件施加張力的第一張力調(diào)整裝置；將來(lái)自上述供給側(cè)第二引導(dǎo)滾子的上述工件沿著上述曝光臺(tái)輸送，配置于該曝光臺(tái)的上方及下方的第一搬運(yùn)滾子以及第二搬運(yùn)滾子；引導(dǎo)來(lái)自該第二搬運(yùn)滾子的上述工件的卷繞側(cè)第一引導(dǎo)滾子以及卷繞側(cè)第二引導(dǎo)滾子；對(duì)于通過(guò)該卷繞側(cè)第一引導(dǎo)滾子以及卷繞側(cè)第二引導(dǎo)滾子之間被引導(dǎo)的上述工件施加張力的第二張力調(diào)整裝置；以及卷繞來(lái)自上述卷繞側(cè)第二引導(dǎo)滾子的上述工件的卷繞卷軸，

上述供給卷軸、上述供給側(cè)第一引導(dǎo)滾子、上述供給側(cè)第二引導(dǎo)滾子、上述第一張力調(diào)整裝置以及上述第一搬運(yùn)滾子配置于上述第二搬運(yùn)滾子、上述卷繞側(cè)第一引導(dǎo)滾子、上述卷繞側(cè)第二引導(dǎo)滾子、上述第二張力調(diào)整裝置以及上述卷繞卷軸的上方。