[發(fā)明專利]激光加工裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710091637.6
• 申請日: 2007-04-03
• 公開（公告）號: CN101049653A
• 公開（公告）日: 2007-10-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 大庭龍吾
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社迪斯科
• 主分類號: B23K26/06
• 分類號: B23K26/06;B23K26/073;B23K26/08;H01L21/301;H01L21/78
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 劉興鵬;邵偉

1.一種激光加工裝置，其包括：用于夾持工件的卡盤臺；用于 對夾持在卡盤臺上的工件照射激光束的激光束照射裝置；以及用于使 卡盤臺和激光束照射裝置相對于彼此移動的加工進給裝置，其中，

激光束照射裝置包括用于振蕩激光束的激光束振蕩裝置和用于會 聚由激光束振蕩裝置振蕩的激光束的聚光器；以及

該聚光器包括：與夾持在卡盤臺上的工件相對的聚光透鏡；沿激 光束照射方向布置在聚光透鏡的上游側(cè)的圓柱形透鏡單元；以及用于 調(diào)節(jié)聚光透鏡和圓柱形透鏡單元之間的間隙的間隙調(diào)節(jié)機構(gòu)，

其中圓柱形透鏡單元包括圓柱形透鏡、用于夾持圓柱形透鏡的透 鏡夾持件、在頂面具有用于容納透鏡夾持件的圓形空穴的第一框架、 用于夾持第一框架的第二框架、用于沿圓形空穴的內(nèi)周部轉(zhuǎn)動透鏡夾 持件的轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)裝置、用于在垂直于圓柱形透鏡的會聚方向的方向上 使第一框架相對于第二框架移動的移動調(diào)節(jié)裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其中，圓柱形透鏡是 凸透鏡并布置為沿加工進給方向會聚激光束。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其中，圓柱形透鏡是 凹透鏡并布置為沿加工進給方向發(fā)散激光束。

4.一種激光加工裝置，其包括：用于夾持工件的卡盤臺；用于 對夾持在卡盤臺上的工件照射激光束的激光束照射裝置；以及用于使 卡盤臺和激光束照射裝置相對于彼此移動的進給裝置，其中，

激光束照射裝置包括用于振蕩激光束的激光束振蕩裝置和用于會 聚由激光束振蕩裝置振蕩的激光束的聚光器；以及

該聚光器包括：與夾持在卡盤臺上的工件相對的聚光透鏡；沿激 光束照射方向布置在聚光透鏡的上游側(cè)的第一圓柱形透鏡單元和第二 圓柱形透鏡單元；以及用于調(diào)節(jié)第一圓柱形透鏡單元和第二圓柱形透 鏡單元之間的間隙的間隙調(diào)節(jié)機構(gòu)，

其中第一圓柱形透鏡單元包括第一圓柱形透鏡、用于夾持第一圓 柱形透鏡的透鏡夾持件、具有用于容納透鏡夾持件的圓形空穴的第一 框架、用于夾持第一框架的第二框架、用于沿圓形空穴的內(nèi)周部轉(zhuǎn)動 透鏡夾持件的轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)裝置、用于在垂直于第一圓柱形透鏡的會聚方 向的方向上使第一框架相對于第二框架移動的移動調(diào)節(jié)裝置，以及

第二圓柱形透鏡單元包括第二圓柱形透鏡、用于夾持第二圓柱形 透鏡的透鏡夾持件、具有用于容納透鏡夾持件的圓形空穴的第一框 架、用于夾持第一框架的第二框架、用于沿圓形空穴的內(nèi)周部轉(zhuǎn)動透 鏡夾持件的轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)裝置、用于在垂直于第二圓柱形透鏡的會聚方向 的方向上使第一框架相對于第二框架移動的移動調(diào)節(jié)裝置，

其中，第一圓柱形透鏡布置在聚光器側(cè)，第二圓柱形透鏡沿激光 束照射方向布置在第一圓柱形透鏡的上游側(cè)，并且間隙調(diào)節(jié)機構(gòu)移動 第二圓柱形透鏡以調(diào)節(jié)第一圓柱形透鏡和第二圓柱形透鏡之間的間 隙，

其中，第一圓柱形透鏡是凸透鏡，而第二圓柱形透鏡是凹透鏡，

其中，第一圓柱形透鏡和第二圓柱形透鏡布置為沿加工進給方向 會聚或發(fā)散激光束。