[發明專利]壓電驅動MEMS器件有效
| 申請號： | 200710091368.3 | 申請日： | 2007-03-30 |
| 公開（公告）號： | CN101047226A | 公開（公告）日： | 2007-10-03 |
| 發明（設計）人： | 西垣亨彥;長野利彥;宮崎崇;板谷和彥;川久保隆 | 申請（專利權）人： | 株式會社東芝 |
| 主分類號： | H01L41/09 | 分類號： | H01L41/09;H01G5/18;H02N2/02;H02N1/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律師事務所 | 代理人： | 楊曉光;李崢 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓電 驅動 mems 器件 | ||
【權利要求書】：
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