[發明專利]顯示裝置制造系統

無效

• 申請號: 200710090332.3
• 申請日: 2007-04-04
• 公開（公告）號: CN101051191A
• 公開（公告）日: 2007-10-10
• 發明（設計）人: 樸熙珍;金圣培;尹錫壹;鄭宗鉉;許舜范;辛成健;鄭世桓;許鉉;金柄郁
• 申請（專利權）人: 株式會社東進世美肯
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42;B01D29/00
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司
• 代理人: 黃威;徐金偉

技術領域

本發明涉及一種顯示裝置制造系統，尤其涉及一種能夠有效地過濾工作流體中浮游物的系統。

背景技術

目前廣泛使用的顯示裝置，具體有液晶顯示器、有機發光二極管顯示器等各種裝置。

其中，所述液晶顯示裝置由形成有電場產生電極的兩塊顯示基板及夾在所述基板之間的液晶層構成。其通過向電極施加電壓，重新排列液晶層的液晶分子，從而調節透過液晶層的光線穿透率。

制造這種液晶顯示裝置需經過對基板進行蒸鍍(deposition)、清洗(cleaning)、涂覆光致抗蝕劑(photo?resist?coating)、曝光(exposure)、顯影(development)、蝕刻(etching)、以及剝離光致抗蝕劑(photo?resiststrip)等一系列工序。

其中，所述光致抗蝕劑分為正性和負性光致抗蝕劑。具體來說，為防止經過曝光工序圖形化的光致抗蝕劑在隨后的顯影工序中被顯影液剝落，在高溫下，所述正性光致抗蝕劑則在其中未曝光部分被硬化，而所述負性光致抗蝕劑則在其中曝光部分被硬化。

另外，用于剝離圖形化光致抗蝕劑的系統，包括：

剝離腔室，其用于接納顯示基板；

注入器，其用于向剝離腔室內注入剝離液，而所述剝離液用于溶解顯示基板上的圖形化光致抗蝕劑；

過濾裝置，其用于過濾從剝離腔室排出的剝離液中光致抗蝕劑成分；以及

儲存槽，其用于儲存已濾除光致抗蝕劑成分的剝離液。

但是，現有的制造系統存在以下缺陷。

為了防止經曝光工序圖形化的光致抗蝕劑在后續顯影工序中被顯影液剝落，在高溫下對光致蝕刻劑層進行硬化處理，因此圖形化的光致抗蝕劑的溶解性降低，而熱特性、耐化學性等性能會大幅提高。由此，剝離時間將會延長，且在剝離過程中，剝離液中將會懸浮幾μm至幾百μm大小的光致抗蝕劑微粒。

由于所述浮游物的堵塞將會縮短過濾裝置的使用壽命。因此，需要經常更換價格昂貴的過濾裝置，這將導致費用的大幅增加。

發明內容

本發明鑒于上述問題而作，其目的在于提供一種在通過過濾裝置過濾工作流體之前除去流體中浮游物的顯示裝置制造系統。

本發明的顯示裝置制造系統，包括：

工作腔室，在其內部利用工作流體去除形成在顯示面板上的工作層中多余部分；

浮游物過濾單元，其接收工作腔室所排出的工作流體，并濾除含在所述工作流體中、并由所述工作層產生的浮游物；

過濾裝置，其接收浮游物過濾單元所排出的工作流體，并濾除含在所述工作流體中的所述工作層成分；

流體儲存槽，其用于儲存通過過濾裝置濾除工作層成分后的工作流體。

而且，所述浮游物過濾單元包括：

箱體，其內部形成有主腔室；

過濾器，其安裝于主腔室內，且內部形成有輔助腔室，且其表面上形成有至少兩個網眼；

流入管，其用于將從工作腔室排出的含有浮游物的工作流體導入輔助腔室；

流出管，其用于將通過過濾器的工作流體導入過濾裝置；

排出單元，其用于將未通過過濾器的浮游物排放到外部。

另外，所述排出單元還包括：刷子，其與過濾器內表面可接觸地裝配；驅動裝置，其用于驅動刷子，以去除蓄積在過濾器內表面上的浮游物；排出管，其用于將從過濾器內表面上被刷子刷落的浮游物排放到外部。

此外，過濾器呈圓筒狀，而驅動裝置為旋轉電動機，且安裝在箱體的一端，排出管則安裝在箱體的另一端，而且刷子可以是螺旋狀，用于將從過濾器內表面被刷落的浮游物移送至排出管。

而且，排出單元可進一步包括：檢測裝置，其用于測出蓄積在過濾器內表面上的浮游物清除時機；控制裝置，其根據檢測裝置測得的數據來控制驅動裝置。

另外，檢測裝置還可以是安裝在流出管上的流量傳感器。

而且，控制裝置還可以包括根據設定程序運行的至少一個微處理器，且設定程序可執行以下步驟：

比較由所述流量傳感器所測得的檢測流量與設定流量，及

當所述檢測流量大于所述設定流量時啟動驅動裝置。

此外，為防止浮游物通過排出管隨時被排出到外部，排出單元可進一步包括閥門，而所述設定程序可進一步執行，從所述驅動裝置被啟動起預定時間之后打開閥門的步驟。

另外，所述工作腔室可以是用于將已完成顯影的光致抗蝕劑從蒸鍍膜剝離的腔室，而工作流體可以為剝離液，浮游物則可以是未被剝離液溶解而殘存的光致抗蝕劑顆粒。

此外，過濾器可由不銹鋼材料制成。