[發(fā)明專(zhuān)利]一種圓形陰極表面弧斑受程控復(fù)合磁場(chǎng)控制的蒸發(fā)離化源

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710090254.7
• 申請(qǐng)日: 2007-04-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101289737A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王殿儒;金佑民
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 王殿儒
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/32
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/32
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種采用程控復(fù)合磁場(chǎng)，即按設(shè)定程序調(diào)整的電磁場(chǎng)和永久磁場(chǎng)疊加成程控復(fù)合磁場(chǎng)，來(lái)控制弧斑運(yùn)動(dòng)的蒸發(fā)離化源，其特征是圓形陰極表面上以圓形表面中心為軸心的環(huán)狀弧斑呈現(xiàn)直徑不斷擴(kuò)大或收縮的環(huán)狀弧斑軌跡，使弧斑對(duì)表面燒蝕均勻。

又由于環(huán)狀弧斑的擴(kuò)大或收縮速率受設(shè)定程序調(diào)整的電磁場(chǎng)和永久磁場(chǎng)疊加成程控復(fù)合磁場(chǎng)的控制，可調(diào)節(jié)到使該速率限制在較低速范圍內(nèi)，也可調(diào)節(jié)到在需要多些燒蝕的徑向位置上令弧斑多些時(shí)間逗留，從而使蒸發(fā)離化的金屬粒子細(xì)化，并使陰極表面上燒蝕均勻。

2.根據(jù)權(quán)利要求1，一種圓形陰極表面弧斑受程控復(fù)合磁場(chǎng)控制的蒸發(fā)離化源，其特征是可調(diào)電磁場(chǎng)由電磁線(xiàn)圈輸入可調(diào)電流產(chǎn)生，可調(diào)電流的調(diào)整規(guī)律由設(shè)計(jì)的模塊給出。

3.根據(jù)權(quán)利要求1，一種圓形陰極表面弧斑受程控復(fù)合磁場(chǎng)控制的蒸發(fā)離化源，其特征是可調(diào)電磁場(chǎng)與永久磁場(chǎng)疊加成程控復(fù)合磁場(chǎng)，設(shè)定程序調(diào)整的電磁場(chǎng)的極性與永久磁場(chǎng)的極性一致疊加或相反疊加均可，模塊中的設(shè)定程序按如下要求設(shè)計(jì)：當(dāng)程控復(fù)合磁場(chǎng)的調(diào)整規(guī)律隨時(shí)間周期地增加和減少時(shí)，程控復(fù)合磁場(chǎng)的大小和分布也相應(yīng)發(fā)生變化，總的會(huì)使圓形陰極表面燒蝕均勻，并使蒸發(fā)液滴細(xì)化達(dá)到最佳，數(shù)量最少。

4.根據(jù)權(quán)利要求1，一種圓形陰極表面弧斑受程控復(fù)合磁場(chǎng)控制的蒸發(fā)離化源，其特征是依據(jù)陰極材料是鈦、鋯、鋁、銅、不銹鋼，弧電流在小于30A范圍內(nèi)，使蒸發(fā)離化源適用于多種金屬材料的陰極。