[發(fā)明專利]用于PTF測量架的磁場檢測器固定組件裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200710089498.3 | 申請日： | 2007-03-26 |
| 公開（公告）號： | CN101206250A | 公開（公告）日： | 2008-06-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | R·D·羅杰 | 申請（專利權(quán)）人： | 賀利氏有限公司 |
| 主分類號： | G01R33/02 | 分類號： | G01R33/02;G01D11/30;C23C14/00 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 趙蓉民 |
| 地址： | 美國亞*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 ptf 測量 磁場 檢測器 固定 組件 裝置 | ||
1.一種磁場檢測器固定組件裝置，其用于對靶進行測量的穿過通量測量裝置，所述磁場檢測器固定組件裝置包括：
具有縱向開口的墊圈，其中所述墊圈的所述開口允許磁場檢測器被定位，且其中所述墊圈被定位在所述磁場檢測器固定組件內(nèi)；和
至少一個緊固件，其中所述至少一個緊固件穿過所述磁場檢測器固定組件中的至少一個開口，且其中所述緊固件適于被調(diào)節(jié)以機械連接所述墊圈，以便將所述墊圈固定在所述磁場檢測器固定組件內(nèi)的預(yù)定位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述墊圈由非金屬材料組成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其中所述墊圈由聚甲醛樹酯、聚四氟乙烯、塑料、尼龍或者非磁性材料組成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述磁場檢測器固定組件中的所述至少一個開口被刻螺紋。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其中所述至少一個緊固件是至少一個螺絲，該螺絲被擰到所述至少一個開口中。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，進一步包括在所述磁場檢測器的一端與所述墊圈的一端之間的氣隙。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述磁場檢測器固定組件由黃銅或非磁性材料組成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述磁場檢測器固定組件具有上部分與下部分，且其中所述上部分的外部直徑小于或等于所述下部分的外部直徑。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述磁場檢測器固定組件具有上部分與下部分，所述上部分具有第一內(nèi)部直徑，而所述下部分具有第二內(nèi)部直徑，且其中所述第一內(nèi)部直徑小于或等于所述第二內(nèi)部直徑。
10.一種測定濺射靶的穿過通量的裝置，包括：
(a)磁源，其產(chǎn)生穿過所述濺射靶的磁場；
(b)磁場檢測器固定組件，其具有帶縱向開口的墊圈，其中所述墊圈的所述開口允許磁場檢測器被定位，且其中所述墊圈被定位在所述磁場檢測器固定組件內(nèi)；以及
(c)支架，其被配置以移動所述濺射靶或所述磁場檢測器固定組件的一個或兩者。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其中所述支架是人工操作機械架。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其中所述支架是自動化穿過通量測量架。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其中所述磁源是可旋轉(zhuǎn)的。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其中所述墊圈由非金屬材料組成。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的裝置，其中所述墊圈由聚甲醛樹酯、聚四氟乙烯、塑料、尼龍或者非磁性材料組成。
16.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其中所述磁場檢測器固定組件具有至少一個緊固件，其中所述至少一個緊固件穿過所述磁場檢測器固定組件的至少一個開口，且其中所述緊固件適于被調(diào)節(jié)以機械連接所述墊圈，以便將所述墊圈固定在所述磁場檢測器固定組件內(nèi)的預(yù)定位置。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的裝置，其中所述磁場檢測器固定組件中的所述至少一個開口被刻螺紋。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的裝置，其中所述至少一個緊固件是至少一個螺絲，該螺絲被擰到所述至少一個開口中。
19.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，進一步包括在所述磁場檢測器的一端與所述墊圈的一端之間的氣隙。
20.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其中所述磁場檢測器固定組件由黃銅或非磁性材料組成。
21.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其中所述磁場檢測器固定組件具有上部分與下部分，且其中所述上部分的外部直徑小于或等于所述下部分的外部直徑。
22.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其中所述磁場檢測器固定組件具有上部分與下部分，所述上部分具有第一內(nèi)部直徑，而所述下部分具有第二內(nèi)部直徑，且其中所述第一內(nèi)部直徑小于或等于所述第二內(nèi)部直徑。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于賀利氏有限公司，未經(jīng)賀利氏有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200710089498.3/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
