[發(fā)明專利]基板加工機(jī)的工件裝卸器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710089451.7
• 申請日: 2007-03-23
• 公開（公告）號: CN101176976A
• 公開（公告）日: 2008-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 辰田勝彥;齊田一
• 申請（專利權(quán)）人: 中村留精密工業(yè)株式會社
• 主分類號: B23Q7/04
• 分類號: B23Q7/04
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 黨曉林

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及設(shè)置于在作為信息記錄介質(zhì)而使用的盤(disk)的基板上開設(shè)中心孔的開孔機(jī)及其它基板加工機(jī)中的工件裝卸器(下面簡稱為“裝卸器”。)，涉及進(jìn)行如下動作的裝置，即，從儲料器取出加工前基板并將其搬入到加工位置，將加工完基板從該加工位置搬出到儲料器中。

背景技術(shù)

盤基板的開孔機(jī)是如下的工作設(shè)備：按外形基準(zhǔn)對以面處于水平狀態(tài)的方式被搬入到加工位置的盤基板進(jìn)行定心(定位)，利用上下配置的圓筒或環(huán)狀的壓圈(把持體)夾持盤基板之后，在配置于上壓圈中心的向下的杯狀的旋轉(zhuǎn)砂輪的周緣，利用孔鋸在板上開孔，以此為要領(lǐng)，在盤基板的中心進(jìn)行開孔加工。開孔之后產(chǎn)生的圓板狀的切屑通過下壓圈的中空部排出。

盤基板的開孔機(jī)中設(shè)置有：儲料器，其與加工位置鄰接，儲存加工前后的盤基板；以及裝卸器，其在該儲料器和加工位置之間搬送盤基板。通常，將多個收容有多個盤基板的盒搭載到儲料器中，利用裝卸器依次進(jìn)行加工前基板和加工完基板的裝卸，從而對儲料器中儲存的盤基板進(jìn)行連續(xù)加工。

以往，作為開孔機(jī)的裝卸器，使用具有加工前基板用和加工完基板用的2個爪部(finger)的X-Y行走式的機(jī)械手。為了避免爪部與安裝在加工位置的壓圈及其它部件發(fā)生干涉，爪部從機(jī)械手主體向加工位置延伸，在該爪部的前端設(shè)置有用于吸附保持工件的朝向下方的多個吸盤。多個吸盤設(shè)置于對盤基板的半徑方向的中間部的2個部位或3個部位進(jìn)行吸附的位置，避免與設(shè)置于加工位置的工具和壓圈發(fā)生干涉。

盤基板以面處于垂直狀態(tài)的方式收容在搬送用盒內(nèi)。另一方面，盤基板的加工是以面處于水平狀態(tài)的方式進(jìn)行的。裝卸器的上述爪部可在水平方向和與90度向下的方向之間擺動，使爪部擺動成向下，與盒之間進(jìn)行盤基板的取出和插入，爪部在水平的狀態(tài)下與加工位置之間進(jìn)行盤基板的搬入搬出。

參照圖4，說明這種現(xiàn)有結(jié)構(gòu)的裝卸器的動作。機(jī)械手12通過橫臂17的Y方向移動和該機(jī)械手在該臂上的X方向移動，而移動到收容有加工前基板的盒上方，使搬入爪部3a向下并下降，利用爪部前端的吸盤吸附一張加工前基板9a。接著，使搬入爪部3a上升，進(jìn)一步返回到水平狀態(tài)之后，機(jī)械手12向加工位置移動。然后，將搬出爪部3b的前端插入到加工位置，通過搬出爪部3b的下降動作，利用其前端的吸盤吸附加工完基板9b之后，使未圖示的上壓圈從該基板離開，接著，使搬出爪部3b向上移動，從下壓圈取出加工完基板9b。

接著，機(jī)械手12將搬入爪部3a的前端插入到加工位置，通過該爪部的下降，將加工前基板9a放置到下壓圈上，使上壓圈下降而夾持基板9a之后，解除吸盤的吸附，使搬入爪部3a上升，將加工前基板9a移交給加工機(jī)。然后，機(jī)械手12將加工完基板9b搬送到設(shè)置于儲料器和加工位置之間的清理位置(除去附著在加工完基板上的加工液和灰塵的位置)，在該清理位置除去加工完基板9b上附著的加工液(通常為水)而進(jìn)行干燥之后，將加工完基板9b向收容加工完基板9b的盒上方移動。

然后，使搬出爪部3b向下之后下降，解除該爪部前端的吸盤的吸附，從而將加工完基板9b收容到盒中。之后，使搬出爪部3b上升，返回到水平狀態(tài)，移動到下一個加工前基板的取出位置。

通過重復(fù)上述的動作，從而對儲料器上的盒中收容的盤基板進(jìn)行連續(xù)加工。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2000-153425號公報

專利文獻(xiàn)2：日本特開2006-26874號公報

在上述現(xiàn)有的裝卸器中，必須進(jìn)行如下動作：在加工位置加工基板期間，裝卸器將加工完基板搬送到清理位置，等待清理動作，將加工完基板插入盒中，向收容有加工前基板的盒上方移動，取出加工前基板，向加工位置方向移動。

在進(jìn)行基板的周緣的倒角加工的倒角加工機(jī)中，加工1張基板需要30秒左右的加工時間，所以裝卸器能夠在此期間進(jìn)行上述動作。但是，盤基板的開孔加工的加工時間為15秒左右，本發(fā)明申請人根據(jù)目前開發(fā)中的開孔加工機(jī)，能夠?qū)⒓庸r間縮短到10秒左右。若實現(xiàn)這種加工時間的縮短，則裝卸器不能在加工時間內(nèi)進(jìn)行上述動作，基板加工結(jié)束之后，加工機(jī)必須等待裝卸器結(jié)束搬送動作。

即，基板加工機(jī)的生產(chǎn)率不是取決于加工機(jī)的能力，而是由裝卸器的工件搬送時間決定，從而不能期待通過縮短基板加工機(jī)的加工時間來提高生產(chǎn)率。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明的課題在于，得到一種用于搭載到像盤基板的開孔機(jī)那樣加工時間短的基板加工機(jī)中的、能夠在短時間內(nèi)在加工位置進(jìn)行基板的搬入搬出的裝卸器。