[發(fā)明專(zhuān)利]圖案缺陷檢查裝置、圖案缺陷檢查方法及光掩模的制造方法無(wú)效

申請(qǐng)?zhí)枺?/td>	200710089091.0	申請(qǐng)日：	2007-03-29
公開(kāi)（公告）號(hào)：	CN101046624A	公開(kāi)（公告）日：	2007-10-03
發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：	山口升	申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人：	HOYA株式會(huì)社
主分類(lèi)號(hào)：	G03F1/00	分類(lèi)號(hào)：	G03F1/00;G03F7/00;H01L21/027
代理公司：	中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司	代理人：	李貴亮
地址：	日本***	國(guó)省代碼：	日本;JP
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摘要：
搜索關(guān)鍵詞：	圖案缺陷檢查裝置方法光掩模制造
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