[發明專利]基底夾持裝置、拋光裝置及拋光方法有效
| 申請號： | 200710089026.8 | 申請日： | 2007-03-29 |
| 公開（公告）號： | CN101045286A | 公開（公告）日： | 2007-10-03 |
| 發明（設計）人： | 安田穗積;戶川哲二;鍋谷治;齋藤賢一郎;福島誠;井上智視 | 申請（專利權）人： | 株式會社荏原制作所 |
| 主分類號： | B24B29/02 | 分類號： | B24B29/02 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 劉興鵬;邵偉 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基底 夾持 裝置 拋光 方法 | ||
【權利要求書】：
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