[發明專利]光刻用清洗劑或沖洗劑無效
| 申請號： | 200710088926.0 | 申請日： | 2007-03-26 |
| 公開（公告）號： | CN101046641A | 公開（公告）日： | 2007-10-03 |
| 發明（設計）人： | 堀口明;片山徹 | 申請（專利權）人： | 大賽璐化學工業株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/42 | 分類號： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 張平元;趙仁臨 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 洗劑 | ||
【權利要求書】：
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