[發明專利]以光學方式檢查和顯現從圓片狀物體獲得的光學測量值的方法

無效

• 申請號: 200710088843.1
• 申請日: 2007-03-28
• 公開（公告）號: CN101051028A
• 公開（公告）日: 2007-10-10
• 發明（設計）人: 麥克森·岱特雷夫
• 申請（專利權）人: 比斯泰克半導體系統股份有限公司
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;G01N21/95;H01L21/66
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 壽寧;張華輝

1、一種以光學方式檢查和顯現來自圓片狀物體的至少一個圖像的光學測量值的方法，其包括以下步驟：

記錄所述至少一個圓片狀物體的所述至少一個圖像，其中根據所述至少一個記錄的圖像來產生多個光學測量值；

將每一光學測量值與色值相關聯；以及

產生所得圖像，其中將從預定之調色板中選出的色值與所述圓片狀物體的表面的光學測量值在預定區間內的區域相關聯。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：將所述圓片狀物體放置在臺上，其中所述臺在第一方向X和第二方向Y上橫移；提供成像構件，其中所述成像構件的視場小于所述圓片狀物體的整個表面；以及為了將所述圓片狀物體的所述整個表面成像，通過所述成像構件以迂曲的方式來掃描所述圓片狀物體。

3、根據權利要求2所述的方法，其中所述所得圖像與所述圓片狀物體的所述記錄的圖像具有相同形式。

4、根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述調色板具有至少三種不同顏色，所述所得圖像以所述至少三種不同顏色來顯示。

5、根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述調色板表現每一測量值與色值之間的關聯規則，借助所述關聯規則以不同于所述圓片狀物體的所述記錄的圖像的其它顏色來顯示所述圓片狀物體的所述表面的圖像。

6、根據權利要求1所述的方法，其特征在于：確定閾值。

7、根據權利要求6所述的方法，其特征在于：在所述圓片狀物體的所述記錄的圖像的所述測量值與所述閾值之間形成差值。

8、根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述調色板從綠色漸變成白色再漸變成紅色。

9、根據權利要求8所述的方法，其特征在于：所述調色板從綠色到白色再到紅色的所述漸變是用于顯現信噪比，其中在所述測量值遠離所述閾值之處出現綠色區域，且紅色區域指示所述測量值超出所述閾值的區域。

10、根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述圓片狀物體的所述記錄的圖像和所述所得圖像顯示在用于以光學方式檢查圓片狀物體的系統的顯示器上，其中為了評估所述圓片狀物體上的缺陷，可在所述圓片狀物體的所述記錄的圖像與所述所得圖像之間進行切換。

11、根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述圓片狀物體是平板顯示器。

12、根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述圓片狀物體是晶片。