[發明專利]汽相淀積源和汽相淀積裝置有效
| 申請號： | 200710088796.0 | 申請日： | 2007-03-22 |
| 公開（公告）號： | CN101041891A | 公開（公告）日： | 2007-09-26 |
| 發明（設計）人： | 吉川俊明;真下精二;福田直人 | 申請（專利權）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 康建忠 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 汽相淀積源 汽相淀積 裝置 | ||
【說明書】：
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