[發(fā)明專利]無軟磁下層的垂直磁記錄介質(zhì)及其制造方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710088675.6
• 申請(qǐng)日: 2007-03-15
• 公開（公告）號(hào): CN101071577A
• 公開（公告）日: 2007-11-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: A·帕爾霍武斯基;L·M·德沃斯津;R·A·艾迪;R·M·佩爾斯特林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 希捷科技有限公司
• 主分類號(hào): G11B5/667
• 分類號(hào): G11B5/667;G11B5/66;G11B5/62
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司
• 代理人: 徐迅

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及改進(jìn)的垂直磁記錄介質(zhì)(perpendicular?magnetic?recording?media)及其制造方法。本發(fā)明特別適用于制造采用顆粒垂直型磁記錄層的具有很高面記錄密度至超高(ultra-high)面記錄密度的介質(zhì)，例如硬盤。

背景技術(shù)

磁介質(zhì)廣泛地應(yīng)用于多種用途，特別是在計(jì)算機(jī)產(chǎn)業(yè)中用于數(shù)據(jù)/信息的存取(通常采用盤的形式)，而人們不斷努力的目標(biāo)是增加面記錄密度(areal?recordingdensity)，也即磁介質(zhì)的位密度(bit?density)。常規(guī)的薄膜型磁介質(zhì)薄膜中，粒化成微細(xì)顆粒的多晶磁合金層(fine-grained?polycrystalline?magnetic?alloy?layer)作為活性記錄層，而根據(jù)磁材料顆粒的磁疇(magnetic?domain)的取向，該薄膜型磁介質(zhì)薄膜通常劃分為“縱向”型或“垂直”型。

已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，垂直記錄介質(zhì)優(yōu)于縱向介質(zhì)之處在于，垂直記錄介質(zhì)可以達(dá)到很高的位密度而不發(fā)生后者所具有的熱穩(wěn)定性限制。在垂直磁記錄介質(zhì)中，剩磁化(residual?magnetization)在垂直于磁介質(zhì)表面的方向(“易磁化軸”)上形成，該磁介質(zhì)通常為合適基材上的磁材料層。可以通過采用具有所述垂直磁介質(zhì)的“單極(single-pole)”磁換能器或“磁頭(head)”而得到很高至超高的線性記錄密度。

目前，使用垂直磁介質(zhì)的有效且高位密度的記錄方法需要插入較厚(相對(duì)于磁記錄層)的“軟”磁下層(underlayer)(“SUL”)，也即該磁層具有低于約1kOe的較低矯頑磁性(coercivity)，例如是NiFe合金(坡莫合金(Permalloy))，其插入位置介于非磁性(non-magnetic)基材(例如玻璃，鋁(Al)或鋁合金)與“硬”磁記錄層之間，該“硬”磁記錄層具有較高的矯頑磁性，通常約為3～8kOe，例如是具有垂直方向各向異性的鈷合金(例如，Co-Cr合金，具體如CoCrPtB)。該軟磁下層用于引導(dǎo)磁通量(magnetic?flux)從磁頭出發(fā)通過硬磁垂直記錄層。

如圖1所示，對(duì)于通常的現(xiàn)有技術(shù)的具有垂直取向的磁介質(zhì)1的垂直記錄系統(tǒng)10，該垂直記錄系統(tǒng)10具有較厚的軟磁下層(SUL)4，較薄的硬磁記錄層6，以及磁頭換能器(magnetic?transducer?head)9，其中標(biāo)號(hào)2示出了非磁性基材，標(biāo)號(hào)3示出了形成于基材2的表面2_A上的任選的粘合層，標(biāo)號(hào)4示出了軟磁下層(SUL)，標(biāo)號(hào)5示出了至少一層的非磁性籽晶(seed)層(有時(shí)稱為“中間(intermediate)”層或是“夾層”(interlayer))，標(biāo)號(hào)6示出了其易磁化軸垂直于所述膜表面的至少一層硬磁性垂直記錄層。

仍然參看圖1，標(biāo)號(hào)9_M和9_A分別示出了磁頭換能器9的主(寫入(writing))極和輔助極。較薄的夾層5由一層或多層的非磁性材料組成，用于：(1)防止軟磁下層4和至少一層的硬磁記錄層6之間的磁相互作用；以及(2)提高所述至少一層的硬磁記錄層6的所需微結(jié)構(gòu)性質(zhì)和磁性。

如圖中箭頭所示，示出了磁通量φ的路徑，通量φ從磁頭換能器9的主寫入極9_M出發(fā)，進(jìn)入并經(jīng)過位于主極9_M下方區(qū)域的至少一層的垂直取向的硬磁記錄層6，進(jìn)入并通過一定距離的軟磁下層(SUL)4，接著從該區(qū)域離開，并經(jīng)過位于磁頭轉(zhuǎn)換器9輔助極9_A下方區(qū)域的至少一層的垂直硬磁記錄層6。如圖箭頭所示在圖中標(biāo)出垂直磁介質(zhì)21經(jīng)過磁頭轉(zhuǎn)換器9的移動(dòng)方向。

介質(zhì)1的疊層終端是形成于硬磁性層6上的保護(hù)性罩面(overcoat)層7，例如是類金剛石(diamond-like)的碳(DLC)，以及形成于所述保護(hù)性罩面層上的潤滑性外涂層(topcoat)8，例如是全氟聚醚(PFPE)材料。