[發明專利]螺栓和半導體制造裝置有效
| 申請號： | 200710087802.0 | 申請日： | 2007-03-19 |
| 公開（公告）號： | CN101038005A | 公開（公告）日： | 2007-09-19 |
| 發明（設計）人： | 島田好朗;衛藤宏樹;樫原玲 | 申請（專利權）人： | 恩益禧電子股份有限公司 |
| 主分類號： | F16B35/00 | 分類號： | F16B35/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 鐘強;樊衛民 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 螺栓 半導體 制造 裝置 | ||
【說明書】：
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