[發(fā)明專利]整合基本電性及系統(tǒng)功能檢測(cè)的裝置及方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200710086858.4 | 申請(qǐng)日： | 2007-03-19 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101271854A | 公開(kāi)（公告）日： | 2008-09-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 林源記;謝志宏;林世芳;潘浩欣 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 京元電子股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/66 | 分類號(hào)： | H01L21/66;G01R31/00;G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京連和連知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 包紅健 |
| 地址： | 臺(tái)灣省新*** | 國(guó)省代碼： | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 整合 基本 系統(tǒng) 功能 檢測(cè) 裝置 方法 | ||
1.?一種半導(dǎo)體測(cè)試裝置的測(cè)試區(qū)結(jié)構(gòu)，包括有至少一個(gè)測(cè)試單元，其特征在于上述測(cè)試單元包括：
插槽；
電路基板，其上配置有第一電路及第二電路；及
切換元件，其依據(jù)該半導(dǎo)體測(cè)試裝置的信息執(zhí)行切換操作，以使該插槽電性連接該第一電路或該第二電路。
2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試區(qū)結(jié)構(gòu)，其特征在于該第一電路為基本電性測(cè)試電路。
3.?根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試區(qū)結(jié)構(gòu)，其特征在于該第二電路為功能電性測(cè)試電路。
4.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試區(qū)結(jié)構(gòu)，其特征在于該切換元件可自下列組合中選出，多功裝置、繼電裝置、半導(dǎo)體元件。
5.?一種整合基本電性測(cè)試及功能測(cè)試的半導(dǎo)體測(cè)試裝置測(cè)試方法，包含：
提供至少一個(gè)測(cè)試單元；
提供至少一個(gè)待測(cè)元件，并使該待測(cè)元件與該測(cè)試單元電性耦合；
執(zhí)行基本電性測(cè)試；
檢查該基本電性測(cè)試的結(jié)果并進(jìn)行判斷程序；
驅(qū)動(dòng)切換元件，以使該待測(cè)元件電性連接設(shè)于該測(cè)試單元的功能電性測(cè)試電路；
執(zhí)行功能電性測(cè)試；及
記錄待測(cè)元件的測(cè)試結(jié)果，并依測(cè)試結(jié)果進(jìn)行待測(cè)元件的分類。
6.?根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)試方法，其特征在于其進(jìn)一步可于執(zhí)行該基本電性測(cè)試前，先檢測(cè)待測(cè)元件是否通過(guò)該切換元件而電性連接設(shè)于該測(cè)試單元的基本電性測(cè)試電路。
7.?根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)試方法，其特征在于當(dāng)該判斷程序判斷該待測(cè)元件無(wú)法通過(guò)基本電性測(cè)試時(shí)，則停止測(cè)試，并記錄待測(cè)元件的測(cè)試結(jié)果，且依測(cè)試結(jié)果進(jìn)行待測(cè)元件的分類。
8.?一種半導(dǎo)體測(cè)試裝置，包括有測(cè)試主機(jī)、分類機(jī)、待測(cè)元件輸入/輸出區(qū)以及測(cè)試區(qū)域，其特征在于該測(cè)試區(qū)域還進(jìn)一步由多個(gè)測(cè)試單元所組成，上述測(cè)試單元包括：
插槽；
電路基板，其上配置有基本電性測(cè)試電路及功能電性測(cè)試電路；及
切換元件，依據(jù)該測(cè)試主機(jī)的信息執(zhí)行切換操作，以使該待測(cè)元件電性連接該基本電性測(cè)試電路或該功能電性測(cè)試電路。
9.?一種半導(dǎo)體測(cè)試裝置，包括有測(cè)試主機(jī)、分類機(jī)、待測(cè)元件輸入/輸出區(qū)以及測(cè)試區(qū)域，其特征在于該測(cè)試區(qū)域還進(jìn)一步由多個(gè)測(cè)試單元所組成，上述測(cè)試單元包括::
第一插槽；
基本電性測(cè)試電路，其與該第一插槽電性連接；
第二插槽；及
功能電性測(cè)試電路，其與該第二插槽電性連接；
其中該分類機(jī)在吸取待測(cè)元件后，即依據(jù)該測(cè)試主機(jī)發(fā)出的信息依次將該待測(cè)元件分別插入該第一插槽或該第二插槽。
10.?一種半導(dǎo)體測(cè)試裝置的測(cè)試區(qū)結(jié)構(gòu)，包括有至少一個(gè)測(cè)試單元，其特征在于上述測(cè)試單元包括：
插槽；
電路基板，其上配置有基本電性測(cè)試電路及功能電性測(cè)試電路；及
切換元件，依據(jù)該半導(dǎo)體測(cè)試裝置的信息執(zhí)行切換操作，以使該插槽電性連接該基本電性測(cè)試電路或該功能電性測(cè)試電路。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
