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[發明專利]相變型存儲器用濺射靶的制造方法有效

專利信息
申請號: 200710086279.X 申請日: 2002-12-05
公開(公告)號: CN101042903A 公開(公告)日: 2007-09-26
發明(設計)人: 矢作政隆;新藤裕一朗;高見英生 申請(專利權)人: 日礦金屬株式會社
主分類號: G11B7/26 分類號: G11B7/26;G11B7/24;C23C14/34
代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 代理人: 樊衛民;郭國清
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
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摘要:
搜索關鍵詞: 相變 存儲 器用 濺射 制造 方法
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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