[發明專利]用于從圖案化基板分離壓模的方法和裝置有效
| 申請號： | 200710085619.7 | 申請日： | 2007-03-01 |
| 公開（公告）號： | CN101030034A | 公開（公告）日： | 2007-09-05 |
| 發明（設計）人： | 瑪格麗特·E·貝斯特;吳才偉 | 申請（專利權）人： | 日立環球儲存科技荷蘭有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00;G03F1/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 張波 |
| 地址： | 荷蘭阿*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 圖案 化基板 分離 方法 裝置 | ||
【說明書】：
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