[發明專利]含有有機溶劑的空氣的處理方法

無效

• 申請號: 200710085524.5
• 申請日: 2007-03-07
• 公開（公告）號: CN101053734A
• 公開（公告）日: 2007-10-17
• 發明（設計）人: 黑澤正司;山下勝宏;出口智廣
• 申請（專利權）人: 霓佳斯株式會社
• 主分類號: B01D53/00
• 分類號: B01D53/00;B01D53/04;B01D53/26;F24F3/16
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司
• 代理人: 王玉雙

技術領域

本發明涉及含有有機溶劑的空氣的處理方法，把除濕空氣供給制造工序的同時，連續進行在該制造工序被排出的含有有機溶劑的待處理空氣的處理。更具體地說，涉及這樣一種含有有機溶劑的空氣的處理方法：同時且連續進行除濕工序、除濕構件還原工序、吸附除去工序、吸附構件還原工序和燃燒工序，其中，除濕工序用安放了除濕劑的除濕構件對向制造工序供給的空氣進行除濕；除濕構件還原工序對吸附了水分的該除濕構件進行還原；吸附除去工序用安放了沸石等吸附劑的吸附構件吸附并除去待處理空氣中的有機溶劑；吸附構件還原工序對吸附了有機溶劑的該吸附構件進行還原；燃燒工序使還原該吸附構件所產生的含有高濃度有機溶劑的空氣中的有機溶劑燃燒。

背景技術

液晶、半導體、LED、等離子體顯示器、樹脂或涂料等的生產工序、或者印刷、涂裝或清洗等設備(以下也記載為制造工序)中，把外部氣體等通到除濕構件中進行除濕，再把所得到的除濕空氣供給制造工序等，同時，從該制造工序等排出含有例如鹵化烴、甲苯、醋酸乙酯等有機溶劑的空氣(以下也記載為含有有機溶劑的空氣)。由于該有機溶劑有害，所以必須用適當的方法除去該制造工序等的排出空氣中的有機溶劑。

因此，以往一直都使用如下的含有有機溶劑的空氣的處理方法：利用具有設置了安放著沸石等吸附劑的吸附構件的吸附裝置、和填充了氧化催化劑的燃燒爐的含有有機溶劑的空氣的處理系統，同時且連續地進行吸附除去工序、吸附構件還原工序和燃燒工序，其中，吸附除去工序把含有有機溶劑的待處理空氣通入吸附構件，吸附并除去待處理空氣中的該有機溶劑；吸附構件還原工序把吸附構件還原空氣通入吸附了有機溶劑的吸附構件，還原該吸附構件；燃燒工序把由吸附構件還原工序生成的濃縮空氣供給燃燒爐，使該濃縮空氣中的有機溶劑燃燒。

參照圖5來說明現有的含有有機溶劑的空氣的處理方法，圖5是現有的含有有機溶劑的空氣的處理方法的流程圖。在圖5中，現有的含有有機溶劑的空氣的處理系統50具有設置有被分割為吸附區和還原區的吸附構件的吸附裝置51、和填充著氧化催化劑的燃燒爐52。在吸附裝置51中，在吸附區對含有有機溶劑的待處理空氣M中的有機溶劑進行吸附除去，同時在還原區對吸附了有機溶劑的吸附構件進行還原。吸附構件還原用的吸附構件還原空氣P從吸附裝置51作為含有高濃度有機溶劑的濃縮空氣而排出去；通過濃縮空氣送氣管53向燃燒爐52供給濃縮空氣。并且，在燃燒爐52中，使濃縮空氣中的有機溶劑燃燒，從而除去濃縮空氣中的有機溶劑，并且從該燃燒爐52把燃燒爐排放氣體Q排放出去。

這樣，用現有的含有有機溶劑的空氣的處理方法，吸附裝置51處理待處理空氣G而生成的吸附處理空氣N、和燃燒爐排放氣體Q都被排放到大氣中。

由于在燃燒爐中用氧化催化劑燃燒有機溶劑，所以，會引起極大的發熱，而將氧化催化劑烤至高溫。通常，采用白金催化劑作為氧化催化劑，所以，氧化催化劑的使用溫度的上限是500℃，一旦氧化催化劑的溫度超過500℃，就會引起催化劑的性能下降(熱劣化)。因此，為了使氧化催化劑的溫度不超過500℃，必須控制氧化催化劑的溫度。測定燃燒爐的排放氣體的溫度，根據排放氣體的溫度來調節供給燃燒爐的空氣的溫度，從而控制氧化催化劑的溫度。供給燃燒爐的空氣的溫度通常是250～300℃。

一旦供給燃燒爐的空氣中的有機溶劑的濃度過高，就不能在燃燒爐中把有機溶劑完全燃燒。也就是說，用燃燒爐可處理的空氣中的有機溶劑的濃度(含量)存在上限。

從制造工序排放出來的含有有機溶劑的空氣、即待處理空氣中的有機溶劑的濃度當然會變動，當待處理空氣中的有機溶劑的濃度變高時，在被燃燒爐中被處理的空氣中的有機溶劑的濃度也變高。在供給燃燒爐的空氣中的有機溶劑的濃度上升小的情況下，取入外部氣體而把有機溶劑的濃度降下來，可以降到燃燒爐的處理極限濃度以下，從而來應對。但是，因工序故障引起的濃度變動的濃度上升顯著，所以必須取入極多的外部氣體來稀釋，然而燃燒爐的處理量有限，所以被取入的外部氣體的量有限，因此存在通過取入外部氣體進行稀釋的方法無法應對的情況。

這種情況下，由于超過燃燒爐的處理極限濃度的含有有機溶劑的空氣被送到燃燒爐中，所以用燃燒爐就不能完全燃燒有機溶劑，未燃燒的有機溶劑混入到燃燒爐的排放氣體中。因此，存在含有未燃燒的有機溶劑的燃燒爐的排放氣體就被排放到大氣中的問題。

此外，盡管燃燒爐排放的氣體是高溫氣體，因為含有未燃燒的有機溶劑，所以也不能把燃燒爐排放氣體用作吸附了水分的除濕構件的還原空氣。因此，必須將外部氣體等的有機溶劑含量少的空氣加熱后通入除濕構件。所以，用現有的方法，熱效率非常糟糕。