[發明專利]襯底處理系統和襯底處理方法無效
| 申請號： | 200710084416.6 | 申請日： | 2003-06-26 |
| 公開（公告）號： | CN101042540A | 公開（公告）日： | 2007-09-26 |
| 發明（設計）人： | 長野泰博;伊藤規宏 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F7/42;H01L21/00;H01L23/00;C01B13/10 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 溫大鵬;譚祐祥 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 襯底 處理 系統 方法 | ||
【權利要求書】：
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