[發明專利]涂布裝置

有效

• 申請號: 200710084320.X
• 申請日: 2007-02-27
• 公開（公告）號: CN101028617B
• 公開（公告）日: 2010-10-13
• 發明（設計）人: 吉田順一;增市干雄;高村幸宏;上野博之;川越理史;松家毅
• 申請（專利權）人: 大日本網目版制造株式會社
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05B13/04;B05C13/02;B05C11/10;H05B33/10
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 徐恕

1.一種涂布裝置，將涂布液涂布在基板上，其特征在于，具有：

載物臺，在其上表面上裝載所述基板；

噴嘴，在所述載物臺上的空間，從其前端部噴出所述涂布液；

局部環境生成機構，其對涂布空間局部性地供給規定氣體，在規定的環境下進行所述涂布液的涂布，該涂布空間包括所述噴嘴噴出涂布液的空間以及所述涂布液所涂布的基板的涂布部位；

噴嘴移動機構，其在上述載物臺上的空間，在橫貫所述載物臺面的方向使所述噴嘴往復移動；

所述局部環境生成機構具有：

第一箱體，其包圍所述載物臺而設置，隔開所述噴嘴移動機構所配置的空間和該載物臺所配置的空間，所述第一箱體在其上表面上形成有所述噴嘴的至少一部分從所述噴嘴移動機構側突出而進行往復移動的開口部；

第一供給口，其設置于所述第一箱體，對該第一箱體的內部空間供給所述規定氣體；

第二箱體，其包圍所述噴嘴移動機構而設置在所述第一箱體的上部；

第一排氣口，其設置在所述第一箱體，將該第一箱體的內部空間內的氣體排出到外部；

第二排氣口，其設置在所述第二箱體，將該第二箱體的內部空間內的氣體排出到外部；

將從所述第一供給口提供的氣體從所述第一以及第二排氣口排出，直到所述第一箱體內的規定空間達到規定氧氣濃度為止，

在所述規定空間達到了規定氧氣濃度時，將從所述第一供給口提供的氣體從所述第二排氣口排出。

2.如權利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，所述第一箱體包圍著所述載物臺裝載所述基板并進行移動的空間而設置。

3.如權利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，

所述第一箱體的上表面配置在所述載物臺和所述噴嘴移動機構之間，

在所述第一箱體的上表面，形成有所述噴嘴的至少一部分從所述噴嘴移動機構側向該第一箱體內突出而進行往復移動的所述開口部。

4.如權利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，

所述第一供給口設置在所述第一箱體的一端的側面，

所述第一排氣口被設置在所述第一箱體中與設置有所述第一供給口的一端的側面相對的另一端的側面上。

5.如權利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，所述第一排氣口設置在所述第一箱體的底部附近。

6.如權利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，所述第二箱體包圍著所述第一箱體的上部空間而設置，所述第一箱體的上部空間包含有所述噴嘴移動機構。

7.如權利要求6所述的涂布裝置，其特征在于，在所述第二箱體形成有所述噴嘴的至少一部分從所述噴嘴移動機構側向所述第一箱體內突出而進行往復移動的開口部。

8.如權利要求6所述的涂布裝置，其特征在于，所述局部環境生成機構還具有第三箱體，該第三箱體設置在所述第二箱體內，并包圍著所述噴嘴移動機構而設置。

9.如權利要求8所述的涂布裝置，其特征在于，在所述第三箱體形成有所述噴嘴的至少一部分從所述噴嘴移動機構側向所述第一箱體內突出而進行往復移動的開口部和將該第三箱體內的空間與該第三箱體外側的所述第二箱體內的空間連通的開口部。

10.如權利要求8所述的涂布裝置，其特征在于，所述局部環境生成機構還具有設置在所述第三箱體并將規定氣體供給到該第三箱體的內部空間的其他的供給口。

11.如權利要求8所述的涂布裝置，其特征在于，所述局部環境生成機構還具有設置在所述第三箱體并將該第三箱體的內部空間內的氣體排出到外部的排氣口。

12.如權利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，所述局部環境生成機構還具有：氧氣濃度檢測部件，其檢測所述第一箱體內的規定空間中的氧氣濃度；第一閥門，其設置在所述第一排氣口；

所述涂布裝置還具有控制部件，該控制部件在所述氧氣濃度檢測部件檢測到的氧氣濃度未達到所述規定氧氣濃度時開啟所述第一閥門，在所述氧氣濃度檢測部件檢測到的氧氣濃度達到所述規定氧氣濃度時關閉所述第一閥門。

13.如權利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，還具有如下的控制部件：其在所述規定空間達到規定氧氣濃度時，使由所述噴嘴移動機構控制的所述噴嘴的往復移動開始，對所述基板進行涂布處理。