[發明專利]用于化學機械拋光的三維網絡結構有效
| 申請號： | 200710084080.3 | 申請日： | 2007-02-15 |
| 公開（公告）號： | CN101024277A | 公開（公告）日： | 2007-08-29 |
| 發明（設計）人： | G·P·馬爾多尼 | 申請（專利權）人： | 羅門哈斯電子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分類號： | B24D17/00 | 分類號： | B24D17/00;B24B29/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 郭輝 |
| 地址： | 美國特*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 化學 機械拋光 三維 網絡 結構 | ||
【說明書】：
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