[發明專利]顯微鏡攝像裝置及尺寸測量裝置

有效

• 申請號: 200710084046.6
• 申請日: 2007-02-13
• 公開（公告）號: CN101050942A
• 公開（公告）日: 2007-10-10
• 發明（設計）人: 伊從潔;野上大
• 申請（專利權）人: 株式會社日立國際電氣
• 主分類號: G01B9/04
• 分類號: G01B9/04;G01B21/00;G01C11/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 黃劍鋒

1、一種顯微鏡攝像裝置，其特征在于，

具備：第1載物臺，能夠與在被測量對象物上具有多個測量點的平面區域上的相互交叉的第1方向與第2方向中的第1方向平行地移動；N個攝像頭，被設置在上述第1載物臺上，能夠在上述第1載物臺上與上述第2方向平行地分別獨立地移動，對上述被測量對象物攝像，在上述平面區域上分割后的N個區域內的測量點分別移動，N為2以上的整數；上下移動載物臺，使該攝像頭分別獨立地上下移動；異常檢測機構，對于上述N個攝像頭分別檢測異常；以及控制機構；

上述控制機構進行控制，以便在上述異常檢測機構檢測到異常的情況下，使異常的攝像頭從上述被測量對象物的平面區域退避到退避區域，通過上述異常檢測機構沒有檢測到異常的攝像頭而能夠在上述被測量對象物的整個平面區域移動。

2、如權利要求1所述的顯微鏡攝像裝置，其特征在于，

還具備：N個透過照明裝置，與上述N個攝像頭分別對應；以及透過照明移動載物臺，將上述透過照明裝置同步移動到上述N個攝像頭的上述平面區域上的位置，

上述控制機構，在上述異常檢測機構檢測到攝像頭的異常的情況下，使對應的透過照明裝置從上述被測量對象物的平面區域退避到退避區域。

3、如權利要求1所述的顯微鏡攝像裝置，其特征在于，

還具備：N個透過照明裝置，與上述N個攝像頭分別對應；以及透過照明移動載物臺，將上述透過照明裝置同步移動到上述N個攝像頭的上述平面區域上的位置，

上述異常檢測機構還檢測上述N個透過照明裝置的異常，

上述控制機構進行控制，以便在檢測到上述N個透過照明裝置的任一個的異常的情況下，使該透過照明裝置與對應的攝像頭一起退避到上述退避區域，通過與上述異常檢測機構沒有檢測到異常的透過照明裝置對應的攝像頭而能夠在上述被測量對象物的整個平面區域移動。

4、一種尺寸測量裝置，其特征在于，

具備：權利要求1所述的顯微鏡攝像裝置；以及N個圖像處理部，與上述N個攝像頭對應，根據從上述N個攝像頭輸出的圖像信號進行上述被測量對象物的多個測量點的測量，

上述異常檢測機構還檢測上述N個圖像處理部的異常，

上述控制機構，在上述異常檢測機構檢測到上述N個圖像處理部的任一個的異常的情況下，使與檢測到上述異常的圖像處理部對應的攝像頭退避到上述退避區域。

5、一種尺寸測量裝置，其特征在于，

具備：權利要求2或3任一項所述的顯微鏡攝像裝置；以及N個圖像處理部，與上述N個攝像頭對應，根據從上述N個攝像頭輸出的圖像信號進行上述被測量對象物的多個測量點的測量，

上述異常檢測機構還檢測上述N個圖像處理部的異常，

上述控制機構，在上述異常檢測機構檢測到上述N個圖像處理部的任一個的異常的情況下，使與檢測到上述異常的圖像處理部對應的攝像頭和透過照明裝置退避到上述退避區域。