[發(fā)明專利]感光性樹(shù)脂組合物無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200710080298.1 | 申請(qǐng)日: | 2007-02-16 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN101025568A | 公開(kāi)(公告)日: | 2007-08-29 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 山本祐介;大池拓郎;足立慎彌 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 三洋化成工業(yè)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | G03F7/004 | 分類號(hào): | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/028;G02F1/1339 |
| 代理公司: | 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人: | 壽寧;張華輝 |
| 地址: | 日本京都府京都*** | 國(guó)省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 感光性 樹(shù)脂 組合 | ||
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- 專利分類
G03F 圖紋面的照相制版工藝,例如,印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝;其所用材料;其所用原版;其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工藝;圖紋面照相制版用的材料,如:含光致抗蝕劑的材料;圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作,例如,鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
- 吲哚樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂和含有這些樹(shù)脂的樹(shù)脂組合物
- 樹(shù)脂成型裝置、樹(shù)脂成型方法及樹(shù)脂容器
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- 樹(shù)脂組合物、樹(shù)脂片、樹(shù)脂固化物和樹(shù)脂基板
- 樹(shù)脂組合物、樹(shù)脂片、樹(shù)脂固化物、樹(shù)脂基板以及層疊基板
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