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[發明專利]用于軸校準的脈沖化內部鎖定質量無效

專利信息
申請號: 200710080008.3 申請日: 2007-02-28
公開(公告)號: CN101030519A 公開(公告)日: 2007-09-05
發明(設計)人: 查爾斯·W·魯斯四世;史蒂文·M·費希爾;詹姆斯·L·博特遲 申請(專利權)人: 安捷倫科技有限公司
主分類號: H01J49/04 分類號: H01J49/04;H01J49/10;H01J49/26
代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 代理人: 王怡
地址: 美國加利*** 國省代碼: 美國;US
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摘要:
搜索關鍵詞: 用于 校準 脈沖 內部 鎖定 質量
【說明書】:
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