[發(fā)明專利]可攜帶式常壓電漿清潔機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710079486.2
• 申請(qǐng)日: 2007-04-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101284711A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-10-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賴中平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 賴中平
• 主分類號(hào): C03C15/00
• 分類號(hào): C03C15/00;C03C23/00;C03C17/245
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 逯長(zhǎng)明

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明關(guān)于鍍膜玻璃材料表面的清潔裝置，尤指一種可攜帶式常壓電漿清潔機(jī)，可以通過(guò)活躍電漿物質(zhì)與表面的污染物反應(yīng)達(dá)到安全、便利的清潔功用。

背景技術(shù)

公元十九世紀(jì)以來(lái)，玻璃或者是玻璃鍍膜材料很廣泛的使用在人類社會(huì)中。一開(kāi)始玻璃應(yīng)用在建筑中僅作為窗戶之用，近來(lái)，摩登式的建筑物或是摩天大樓更是廣泛的使用玻璃材質(zhì)來(lái)替換舊有傳統(tǒng)式的磚塊或是混泥土來(lái)取代圍墻。玻璃更是在屋內(nèi)裝潢扮演著舉足輕重的角色，其取代了傳統(tǒng)式的墻壁，舉例來(lái)說(shuō)，很多屋內(nèi)的衛(wèi)浴間以及溫室花房等等，都可見(jiàn)到這樣的設(shè)計(jì)。其它相關(guān)玻璃材質(zhì)的應(yīng)用更是多樣化的出現(xiàn)在生活中，舉凡鏡子、桌子、椅子和水盆等等，凡是您可想象的東西都會(huì)使用到它。為了確保玻璃的潔凈，傳統(tǒng)上會(huì)使用各種化學(xué)洗凈劑及大量的水。無(wú)論是哪種種類的化學(xué)清潔劑對(duì)環(huán)境都會(huì)造成影響，尤其是當(dāng)我們?cè)谇鍧嵰话愕姆孔踊蚴悄壳耙延械那鍧嵲O(shè)備，都不具備清潔劑回收的機(jī)制。而且當(dāng)我們使用水去清理和去除掉這些物理清潔劑時(shí)，對(duì)人體和環(huán)境都不是很好，特別是在清理摩天大樓時(shí)。這些非自然狀況產(chǎn)生的化學(xué)雨，對(duì)于陸上徒步行走的行人而言，是不想要有的意外之災(zāi)。基于前述的這些原因，使用干式的清潔方式來(lái)潔凈玻璃表面或是表面經(jīng)過(guò)二氧化硅(SiO₂)涂布的基材，具有環(huán)境及技術(shù)上的優(yōu)勢(shì)。

有相關(guān)文獻(xiàn)探討用熱處理的方式做玻璃表面清潔，一般來(lái)說(shuō)其處理的時(shí)間都會(huì)長(zhǎng)達(dá)30分鐘以上，并且加熱的溫度均需高于300℃。采用臭氧清潔玻璃的優(yōu)點(diǎn)是能結(jié)合紫外線放射，這類相關(guān)數(shù)據(jù)可參考美國(guó)應(yīng)用專利“20050076934”，使用雷射放射方式的有D.R.Halfpenny等在期刊“Applied?Physics?A：Materials?Science?&?Processing?71(2000)P147-151”所發(fā)表的文章，運(yùn)用電子式電漿方式的方法也可在美國(guó)專利號(hào)碼“5028453”和美國(guó)運(yùn)用型專利“20040265505”見(jiàn)到。

在大多數(shù)已知的電漿表面處理裝置，使用于玻璃和其它二氧化硅(SiO₂)涂布材質(zhì)時(shí)，其缺點(diǎn)是要產(chǎn)生電漿時(shí)必須要低于1kPa(常壓)。因此必須要使用真空及很復(fù)雜的機(jī)構(gòu)組件來(lái)達(dá)成這樣的需求，對(duì)于可攜式的應(yīng)用來(lái)說(shuō)會(huì)造成成本的增加，且其重量會(huì)過(guò)重并不適合此種方式的應(yīng)用。此外，在低壓式電漿清潔、電漿蝕刻和電漿活化的運(yùn)用方面來(lái)說(shuō)，因?yàn)檩^低的電漿密度，因此相對(duì)需要很長(zhǎng)的暴露時(shí)間來(lái)達(dá)到各種表面處理的需求。

為了解決上述所提到的這些問(wèn)題，各式的常壓電漿設(shè)備因應(yīng)而生，最大宗的應(yīng)用方式是采用大量的介質(zhì)阻擋放電(Dielectric?BarrierDischarge)的方式來(lái)達(dá)成，其詳細(xì)的運(yùn)作方式可參考“T.Yamamoto?et?al.：Plasma?Chemistry?and?Plasma?Processing?24(2004)1-1”及“Ch.Wang?andX.He：‘Preparation?of?hydrophobic?coating?on?glass?surface?by?dielectricbarrier?discharge?using?a?16kHz?power?supply’Applied?Surface?Science(2006)”。當(dāng)這樣介質(zhì)阻擋放電，被使用為一種電漿處理，其被處理的材料位于二個(gè)電極之間并導(dǎo)入一個(gè)高頻率高壓信號(hào)，這種裝置的位移電流線，其產(chǎn)生范圍為從被處理的材料橫跨的電極和放電電漿的空間中。介質(zhì)阻擋放電可能發(fā)生在任一運(yùn)作的氣體里，包括空氣和氧氣。但是這種裝置不利玻璃清潔的運(yùn)用，因?yàn)榉烹婋姖{特征取決于被處理的物質(zhì)厚度，所以不可能處理厚實(shí)的材料。這樣裝置不利于工業(yè)相關(guān)用途，其在于電漿功率密度的增量會(huì)導(dǎo)致不受歡迎的電漿絲狀放電(filamentation)、激發(fā)火花和劇烈的增加電漿氣體溫度，如此一來(lái)造成不均勻的處理并且粗化被處理的物質(zhì)表面。更主要的因素是電極必須置放于被處理材料的兩面，因此設(shè)計(jì)成可攜帶式裝置并不理想。