[發明專利]膜厚測量裝置有效
| 申請號： | 200710079402.5 | 申請日： | 2007-03-05 |
| 公開（公告）號： | CN101033935A | 公開（公告）日： | 2007-09-12 |
| 發明（設計）人： | 細川理彰 | 申請（專利權）人： | 奈普森株式會社 |
| 主分類號： | G01B7/06 | 分類號： | G01B7/06;G01R27/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 余剛;尚志峰 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 測量 裝置 | ||
【說明書】：
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