[發(fā)明專利]大功率激光器的控制方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710076715.5
• 申請日: 2007-08-28
• 公開（公告）號: CN101377666A
• 公開（公告）日: 2009-03-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 高云峰;李建;方緒波;彭金明
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
• 主分類號: G05B19/05
• 分類號: G05B19/05;H01S3/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.大功率激光器的控制方法，其特征在于，大功率激光器包括諧振腔(1)、熱交換器一(2)、熱交換器二(3)、渦輪風(fēng)機(4)、壓力傳感器(5)、功率傳感器(14)以及氣體控制單元；在諧振腔1內(nèi)裝有功率傳感器(14)，在熱交換器二(3)上裝有壓力傳感器(5)，其中，熱交換器一(2)、諧振腔(1)、熱交換器二(3)和渦輪風(fēng)機(4)組成氣體流通回路；氣體控制單元包括真空泵(13)、主抽真空閥(10)、渦輪風(fēng)機齒輪箱抽真空閥(11)、渦輪風(fēng)機齒輪箱排氣閥(12)、CO₂氣體閥一(7)、He氣體閥二(8)、N₂氣體閥三(9)和充氮氣閥(6)，CO₂氣體閥一(7)、He氣體閥二(8)、N₂氣體閥三(9)和充氮氣閥(6)都分別與熱交換器一(2)相連，包括以下步驟：

101、上電初始化，各輸出部分恢復(fù)為原始狀態(tài)；

102、對氣體流通回路進行抽真空操作，具體步驟為：啟動真空泵(13)開始工作，主抽真空閥(10)、渦輪風(fēng)機齒輪箱抽真空閥(11)、渦輪風(fēng)機齒輪箱排氣閥(12)都開啟；

103、壓力傳感器通過熱交換器二(3)檢測氣體流通回路中的壓力狀態(tài)輸出壓力模擬電壓信號到PLC中，壓力傳感器檢測氣體流通回路中的熱交換器一(2)和/或熱交換器二(3)的壓力狀態(tài)；

104、PLC對接收到的壓力模擬電壓信號進行至少3次周期掃描，相應(yīng)采集到至少3個壓力模擬電壓信號值，PLC將采集到的壓力模擬電壓信號值進行比較，去掉其中的一個最大值和一個最小值，然后進行多點平均運算，即取余下的模擬電壓信號的平均值作為當(dāng)前壓力傳感器的檢測結(jié)果，并將余下的壓力模擬電壓信號值的平均值與需要回充工作氣體預(yù)設(shè)的啟動值進行比較，若所述平均值小于或等于所述啟動值，則PLC發(fā)出停止抽真空操作的控制信號和向氣體流通回路充入工作氣體的控制信號，向氣體流通回路充入工作氣體具體為：打開CO2氣體閥一(7)、He氣體閥二(8)和N2氣體閥三(9)，開始向氣體流通回路中的熱交換器一(2)內(nèi)充入工作氣體；

105、在氣體流通回路充入工作氣體后，若所述平均值大于或等于預(yù)設(shè)的工作值，則PLC發(fā)出使氣體流通回路內(nèi)工作氣體循環(huán)流通的控制信號，之后，若所述平均值先小于所述預(yù)設(shè)的工作值再大于或等于預(yù)設(shè)的工作值，以及所述平均值持續(xù)大于或等于預(yù)設(shè)的工作值，則PLC發(fā)出激光器出光的控制信號，使氣體流通回路內(nèi)工作氣體循環(huán)流通具體為：啟動渦輪風(fēng)機(4)使工作氣體在熱交換器一(2)、諧振腔(1)、熱交換器二(3)和渦輪風(fēng)機(4)組成的氣體流通回路內(nèi)循環(huán)流動；

106、功率傳感器檢測激光器諧振腔的功率狀態(tài)，輸出的功率模擬電壓信號經(jīng)放大電路進行放大，并輸入到PLC中；

107、PLC對接收到的功率模擬電壓放大信號進行至少3次周期掃描，相應(yīng)采集到至少3個功率模擬電壓放大信號值，PLC將采集到的功率模擬電壓放大信號值進行比較，去掉其中的一個最大值和一個最小值，并將余下的功率模擬電壓放大信號值的平均值作為功率檢測結(jié)果；

108、PLC根據(jù)功率檢測結(jié)果和其內(nèi)預(yù)置的功率模擬電壓放大信號值與功率值的分段對應(yīng)關(guān)系，得到激光器運行的功率值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大功率激光器的控制方法，其特征在于：步驟108中所述的分段對應(yīng)關(guān)系為N段電壓值分別以N個不同系數(shù)對應(yīng)N段功率值，其中，N為大于等于2的整數(shù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的大功率激光器的控制方法，其特征在于：所述N的值為5。