[發明專利]對位平臺的旋轉參數獲取方法無效
| 申請號： | 200710074343.2 | 申請日： | 2007-05-09 |
| 公開（公告）號： | CN101303230A | 公開（公告）日： | 2008-11-12 |
| 發明（設計）人： | 何享真;林錦輝 | 申請（專利權）人： | 富士邁半導體精密工業（上海）有限公司;沛鑫半導體工業股份有限公司 |
| 主分類號： | G01C11/00 | 分類號： | G01C11/00;G01B21/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201600上海市松江區*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 對位 平臺 旋轉 參數 獲取 方法 | ||
1.一種對位平臺的旋轉參數獲取方法，其包括步驟：將工件裝載在對位平臺上，該工件上設置有第一對位記號及第二對位記號；
獲取第一對位記號及第二對位記號的初始坐標值；
驅動所述對位平臺運動n次使所述工件上的第一對位記號及第二對位記號相對于其初始位置以任意角度轉動n次，n為大于1的自然數；
獲取每次轉動后的第一對位記號及第二對位記號的坐標值(X1i，Y1i)及(X2i，Y2i)，以及第一對位記號及第二對位記號的旋轉半徑R1i，R2i，其中，1≤i≤n；
獲取以(X1i，Y1i)及(X2i，Y2i)為圓心，對應的R1i及R2i為半徑的兩圓的一交點的坐標值(Xi，Yi)，該坐標值(Xi，Yi)為所述對位平臺的旋轉中心的坐標值；
對獲取的旋轉中心的坐標值(Xi，Yi)進行數值統計以剔除標準差之外的坐標值；
利用未被剔除的旋轉中心的坐標值計算出對應第一對位記號及/或第二對位記號的旋轉半徑和初始旋轉角的取值；以及
分別平均所述計算出的旋轉半徑和初始旋轉角的取值，進而獲取所述對位平臺對應第一對位記號及/或第二對位記號的旋轉參數。
2.如權利要求1所述的旋轉參數獲取方法，其特征在于，所述對獲取的旋轉中心的坐標值(Xi，Yi)進行數值統計以剔除標準差之外的坐標值之步驟包括：
對旋轉中心的坐標值(Xi，Yi)中Xi和Yi分別進行數值統計以剔除位于標準差之外的Xi和Yi值。
3.如權利要求1所述的旋轉參數獲取方法，其特征在于，所述利用未被剔除的旋轉中心的坐標值計算出對應第一對位記號及/或第二對位記號的旋轉半徑和初始旋轉角的取值之步驟包括：
通過計算未被剔除的旋轉中心的坐標值與第一對位記號及/或第二對位記號的初始坐標值的位置差以獲得對應第一對位記號及/或第二對位記號的旋轉半徑；以及
通過計算未被剔除的旋轉中心的坐標值對應的第一位置與第一對位記號及/或第二對位記號的初始坐標值對應的第二位置的連線與X軸方向的夾角以獲得對應第一對位記號及/或第二對位記號的初始旋轉角。
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