[發明專利]一種鋁酸鋰晶體的生長方法無效
| 申請號: | 200710073268.8 | 申請日: | 2007-02-07 |
| 公開(公告)號: | CN101054725A | 公開(公告)日: | 2007-10-17 |
| 發明(設計)人: | 陳盈君 | 申請(專利權)人: | 深圳市淼浩高新科技開發有限公司 |
| 主分類號: | C30B29/22 | 分類號: | C30B29/22;C30B15/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 518102廣東省深圳市*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 鋁酸鋰 晶體 生長 方法 | ||
1.一種鋁酸鋰晶體的生長方法,其特征在于用綜合熔體法生長晶體,使用提拉法下種、收頸、放肩,在等徑生長時采用泡生法和/或溫梯法。
2.根據權利要求1的方法,其中提拉時的轉速范圍是5~50rpm,拉速范圍是0.1~5.0mm/hr;等徑生長時的降溫速度范圍是0.1~5℃/hr;等徑生長時,轉速范圍是0~50rpm,拉速范圍是0~5mm/hr。
3.根據權利要求1的方法,其中使用感應加熱進行生長。
4.根據權利要求1的方法,其中使用石墨電阻加熱進行生長。
5.根據權利要求1的方法,其中在提拉生長階段時拉速和轉速是變化的。
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