[發明專利]雙曲面反射鏡的多維全場光學校驗裝置

無效

• 申請號: 200710072553.8
• 申請日: 2007-07-24
• 公開（公告）號: CN101113890A
• 公開（公告）日: 2008-01-30
• 發明（設計）人: 孫偉民;朱齊丹;耿濤;夏桂華;張濤;戴強;張志林;王立輝;郭明磊
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工程大學
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01B11/24;G01M11/02;G02B17/08;G02B27/00
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• 代理人: 暫無信息

1.一種雙曲面反射鏡的多維全場光學校驗裝置，它包括準直光源、分束鏡、參考光路、測量光路和接收裝置；其特征是：準直光源發出的準直光束射入分束鏡，分束鏡將準直光束分成透射與反射兩路，一路作為參考光，參考光路上設置有反射鏡II組成參考臂，經反射鏡II反射后再透過分束鏡；另一路作為檢測光，檢測光路上設置有由匯聚透鏡、被測雙曲面鏡和標準球面反射鏡組成的測量臂，檢測光經匯聚透鏡匯聚到被測雙曲面鏡的部分鏡面上，匯聚光線延長線相交于被測雙曲面鏡的一個焦點上，經被測雙曲面鏡反射后，匯聚到一個標準球面反射鏡上，光線的延長線匯聚于球面反射鏡的球心，經球面反射鏡反射后，沿原路返回，再經過被測雙曲面鏡和匯聚透鏡和半反射鏡反射，作為測試光；參考光和檢測光匯集到接收裝置。

2.根據權利要求1所述的雙曲面反射鏡的多維全場光學校驗裝置，其特征是：分束鏡的透射光作為檢測光、反射光作為參考光。

3.根據權利要求1所述的雙曲面反射鏡的多維全場光學校驗裝置，其特征是：分束鏡的反射光作為檢測光、透射光作為參考光。

4.根據權利要求1、2或3所述的雙曲面反射鏡的多維全場光學校驗裝置，其特征是：所述的被測雙曲面鏡安裝在兩維旋轉機構上，其中的一維為沿被測雙曲面軸線旋轉的轉軸，另一旋轉方向的轉軸垂直于被測雙曲面的軸線。

5.根據權利要求1、2或3所述的雙曲面反射鏡的多維全場光學校驗裝置，其特征是：所述的反射鏡II安裝在可以沿光線方向前后移動的移動機構上。

6.根據權利要求1、2或3所述的雙曲面反射鏡的多維全場光學校驗裝置，其特征是：所述的接收裝置由成像透鏡和CCD構成。

7.根據權利要求1、2或3所述的雙曲面反射鏡的多維全場光學校驗裝置，其特征是：所述的準直光源由激光器、擴束鏡、準直透鏡和反射鏡I組成，反射鏡I將準直光束射入分束鏡。

8.根據權利要求1、2或3所述的雙曲面反射鏡的多維全場光學校驗裝置，其特征是：所述的分束鏡的透射、反射比應接近50％。