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[發明專利]光學系統中的光學軸與機械軸之間夾角的精確測量方法有效

專利信息
申請號: 200710072380.X 申請日: 2007-06-22
公開(公告)號: CN101078615A 公開(公告)日: 2007-11-28
發明(設計)人: 馬晶;譚立英;劉劍峰;韓琦琦;于思源 申請(專利權)人: 哈爾濱工業大學
主分類號: G01B11/26 分類號: G01B11/26
代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 代理人: 朱永林
地址: 150001黑龍江*** 國省代碼: 黑龍江;23
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 光學系統 中的 光學 機械 之間 夾角 精確 測量方法
【權利要求書】:

1.光學系統中的光學軸與機械軸之間夾角的精確測量方法,其特征在于它的方法步驟為:

第一步驟:干涉儀(1)發射的激光光束通過被測光學系統(2)后入射到高精度平面鏡(3)中,激光光束由高精度平面鏡(3)反射后通過被測光學系統(2)入射干涉儀(1)中;調整高精度平面鏡(3)方位角、俯仰角,使干涉儀(1)的條紋左右、上下對稱,即高精度平面鏡(3)的光軸與被測光學系統(2)的光軸相重合;

第二步驟:將自準直儀(4)設置在高精度平面鏡(3)的前方,自準直儀(4)向高精度平面鏡(3)發射激光光束,激光光束經高精度平面鏡(3)反射后入射自準直儀(4)中,自準直儀(4)根據入射光點位置計算其光軸與高精度平面鏡(3)光軸的夾角α值,即自準直儀(4)光軸與被測光學系統(2)的光軸夾角α值;

第三步驟:在被測光學系統(2)的機械支撐的機械基準面上粘接第二高精度平面鏡(5),即第二高精度平面鏡(5)的光軸與被測光學系統(2)的機械軸平行,自準直儀(4)以步驟二中的位置向第二高精度平面鏡(5)發射激光光束,激光光束經第二高精度平面鏡(5)反射后入射自準直儀(4)中,自準直儀(4)根據入射光點位置計算其光軸與第二高精度平面鏡(5)光軸的夾角β值,即自準直儀(4)的光軸與被測光學系統(2)的機械軸夾角β值;

第四步驟:將步驟二中的夾角α值、步驟三中的夾角β值帶入公式Δ=β-α中,即得出被測光學系統(2)的光軸與機械軸之間夾角Δ值。

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