[發明專利]一種壓電掃描器高速掃描方式無效
| 申請號： | 200710065552.0 | 申請日： | 2007-04-16 |
| 公開（公告）號： | CN101060059A | 公開（公告）日： | 2007-10-24 |
| 發明（設計）人： | 王麗娜;韓立;李敏;林云生 | 申請（專利權）人： | 中國科學院電工研究所 |
| 主分類號： | H01J37/28 | 分類號： | H01J37/28;G12B21/20;G01N13/10 |
| 代理公司： | 北京科迪生專利代理有限責任公司 | 代理人： | 關玲;李新華 |
| 地址： | 100080北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 壓電 掃描器 高速 掃描 方式 | ||
【權利要求書】：
1、一種壓電掃描器高速掃描方式，其特征是采用正弦波對壓電掃描器快軸驅動；由位移決定采樣點，采用在壓電掃描器快軸的運動方向上設置的位移傳感器精確計量掃描器實際走過的距離，并將快軸方向移動的位移量傳遞給控制系統，控制系統根據所制定的采樣點間的步長，每當壓電掃描器在快軸方向運動過一個步長時，控制系統即下達采樣命令。
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