[發(fā)明專利]一種螺旋線行波管慢波組件及制備方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710064600.4
• 申請(qǐng)日: 2007-03-21
• 公開（公告）號(hào): CN101271803A
• 公開（公告）日: 2008-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉燕文;韓勇;劉濮鯤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所
• 主分類號(hào): H01J9/00
• 分類號(hào): H01J9/00;H01J23/27
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 周國(guó)城

1.?一種螺旋線行波管慢波組件的制備方法，其特征在于，制備步驟如下：

步驟1：將清洗的介質(zhì)夾持桿和螺旋線放入金剛石沉積室內(nèi)；

步驟2：將金剛石沉積在介質(zhì)夾持桿表面和螺旋線表面，形成具有金剛石薄膜的介質(zhì)夾持桿和螺旋線；

步驟3：將具有金剛石薄膜的介質(zhì)夾持桿和螺旋線及金屬管殼固定在裝架模具上；

步驟4：將鍍有金剛石薄膜的介質(zhì)夾持桿和螺旋線擠入金屬管殼內(nèi)，制成螺旋線行波管慢波組件。

2.?一種螺旋線行波管慢波組件，包括介質(zhì)夾持桿(1)、螺旋線(2)、管殼(3)，管殼(3)的內(nèi)壁與介質(zhì)夾持桿(1)的外壁連接，介質(zhì)夾持桿(1)內(nèi)壁與螺旋線(2)外壁連接，其特征在于還包括：

第一金剛石薄膜(4)位于介質(zhì)夾持桿(1)表層中；

第二金剛石薄膜(5)位于螺旋線(2)的表層中；

第一金剛石薄膜(4)與第二金剛石薄膜(5)緊密連接。

3.?根據(jù)權(quán)利要求2所述的組件，其特征在于，螺旋線(2)采用鉬螺旋線或金屬螺旋線制成。

4.?根據(jù)權(quán)利要求2所述的組件，其特征在于，介質(zhì)夾持桿(1)用氧化鋁、或氧化鈹、或氮化硼、或其它介質(zhì)夾持桿制成。

5.?根據(jù)權(quán)利要求2所述的組件，其特征在于，所述第一金剛石薄膜(4)與第二金剛石薄膜(5)的厚度分別為5μm-15μm。