[發明專利]一種氣敏傳感器標定和可靠性測試系統

有效

• 申請號: 200710063698.1
• 申請日: 2007-02-07
• 公開（公告）號: CN101241093A
• 公開（公告）日: 2008-08-13
• 發明（設計）人: 黃欽文;陳大鵬;景玉鵬;歐毅;葉甜春
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G01N27/00
• 分類號: G01N27/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 周國城

1.?一種氣敏傳感器標定和可靠性測試系統，其特征在于，該系統包括進氣單元、氣體流量監控及組分控制單元、氣體混合腔(5)、真空測試腔(6)和傳感器電參量測量裝置(16)；

所述進氣單元中的氣體在氣體流量監控及組分控制單元的控制下進入氣體混合腔(5)進行預混合，然后進入真空測試腔(6)；

所述真空測試腔(6)中放置有待測氣敏傳感器(15)，所述傳感器電參量測量裝置(16)與真空測試腔(6)連接，用于測試真空測試腔(6)中待測氣敏傳感器(15)的性能。

2.?根據權利要求1所述的氣敏傳感器標定和可靠性測試系統，其特征在于，所述進氣單元包括調壓減壓閥和壓力鋼瓶(1)，用于控制壓力鋼瓶(1)中的氣體或揮發性液體蒸汽的壓力，進氣單元通過氣體流量監控及組分控制單元與氣體混合腔(5)相連；

所述壓力鋼瓶的數量至少為2個，每個壓力鋼瓶中存放一種氣體或揮發性液體蒸汽，且每個壓力鋼瓶上安裝有一個調壓減壓閥。

3.?根據權利要求1所述的氣敏傳感器標定和可靠性測試系統，其特征在于，所述氣體流量監控及組分控制單元包括質量流量計(2)、控制電路(3)和計算機(4)，用于控制來自進氣單元的氣體流量、壓力及組分，實現對不同氣體的選擇切換。

4.?根據權利要求1所述的氣敏傳感器標定和可靠性測試系統，其特征在于，所述氣體混合腔(5)通過特種不銹鋼管道接收進氣單元輸入的氣體，對該氣體進行預混合，然后將預混合后的氣體輸出給真空測試腔(6)。

5.?根據權利要求1所述的氣敏傳感器標定和可靠性測試系統，其特征在于，所述真空測試腔(6)具有可開關的密封蓋，蓋子下面有環形橡膠密封圈，該真空測試腔(6)包括溫控裝置、高/低壓真空計(7)、至少一個傳感器電參數測量引線柱(8)、進氣口(9)和出氣口(10)。

6.?根據權利要求5所述的氣敏傳感器標定和可靠性測試系統，其特征在于，所述溫控裝置包括加熱板(12)、熱電偶(13)和可編程溫度控制器(14)；

所述熱板的可調溫度范圍為0到400攝氏度，溫度誤差為±0.2攝氏度，熱板上放置氣敏傳感器，通過熱板來精確設置傳感器的溫度；

所述傳感器電參數測量引線柱(8)的數量為8個，所述可編程溫度控制器(14)實現的溫度變化過程的狀態有64種。

7.?根據權利要求1所述的氣敏傳感器標定和可靠性測試系統，其特征在于，所述真空測試腔(6)為圓柱形形狀，高度為5.2cm，直徑為29cm。

8.?根據權利要求1所述的氣敏傳感器標定和可靠性測試系統，其特征在于，所述傳感器電參量測量裝置(16)為一臺外接式半導體參數測試儀，用于測量待測氣敏傳感器(15)的IV特性、阻抗特性、感抗特性。

9.?根據權利要求1所述的氣敏傳感器標定和可靠性測試系統，其特征在于，該系統進一步包括一真空單元(11)，用于抽出真空測試腔(6)中的氣體，將真空測試腔(6)變為真空狀態。

10.?根據權利要求9所述的氣敏傳感器標定和可靠性測試系統，其特征在于，所述真空單元(11)與真空測試腔(6)的出氣口(10)連接，為高速真空泵。