[發(fā)明專(zhuān)利]一種射頻匹配器的傳感器的鑒相裝置和方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710063284.9
• 申請(qǐng)日: 2007-01-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101217104A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張文雯
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/00
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/00;G01R27/02
• 代理公司: 北京凱特來(lái)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 鄭立明;王連軍

1.一種射頻匹配器的傳感器的鑒相裝置，應(yīng)用于射頻匹配器的傳感器中，用于檢測(cè)射頻負(fù)載阻抗的相位，其特征在于，包括：

信號(hào)處理采樣電路，用于獲取射頻傳輸線上的電壓與電流信號(hào)，并對(duì)所采集的正弦波的電壓與電流信號(hào)進(jìn)行處理輸出方波信號(hào)至邊沿觸發(fā)鑒頻鑒相器PFD；

邊沿觸發(fā)鑒頻鑒相器PFD，根據(jù)輸入的方波電壓與電流信號(hào)經(jīng)過(guò)鑒頻鑒相處理，輸出脈沖控制信號(hào)至放大濾波電路；

放大濾波電路，對(duì)輸入的脈沖控制信號(hào)進(jìn)行放大運(yùn)算處理，并通過(guò)低通濾波器輸出平均電壓控制信號(hào)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻匹配器的傳感器的鑒相裝置，其特征在于，所述的信號(hào)處理采樣電路包括異或門(mén)，將所采集的正弦波的電壓與電流信號(hào)處理為方波信號(hào)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻匹配器的傳感器的鑒相裝置，其特征在于，所述的PFD包括兩個(gè)具有復(fù)位功能的D觸發(fā)器及一個(gè)與門(mén)；所述的方波電壓與電流信號(hào)分別作為兩個(gè)D觸發(fā)器的時(shí)鐘脈沖CP，兩個(gè)D觸發(fā)器的輸出端接與門(mén)的輸入端，與門(mén)的輸出端接兩個(gè)D觸發(fā)器的復(fù)位端。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻匹配器的傳感器的鑒相裝置，其特征在于，所述的放大濾波電路包括差分放大電路與低通濾波器。

5.一種射頻匹配器的傳感器的鑒相方法，其特征在于，包括，

A、獲取射頻傳輸線上的電壓與電流信號(hào)，并對(duì)所采集的正弦波的電壓與電流信號(hào)進(jìn)行處理輸出方波電壓與電流信號(hào)；

B、根據(jù)輸入的方波電壓與電流信號(hào)經(jīng)過(guò)鑒頻鑒相處理，輸出脈沖控制信號(hào)；

C、對(duì)輸入的脈沖控制信號(hào)進(jìn)行放大運(yùn)算處理，輸出平均電壓控制信號(hào)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的射頻匹配器的傳感器的鑒相方法，其特征在于，所述的步驟A包括，采用異或門(mén)將所采集的正弦波的電壓與電流信號(hào)處理為方波信號(hào)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的射頻匹配器的傳感器的鑒相方法，其特征在于，所述的步驟C包括：

對(duì)輸入的脈沖控制信號(hào)通過(guò)差分放大器，進(jìn)行放大運(yùn)算處理，并通過(guò)低通濾波器輸出平均電壓控制信號(hào)。