[發明專利]一種快速RF自動阻抗匹配方法

有效

• 申請號: 200710063223.2
• 申請日: 2007-01-04
• 公開（公告）號: CN101217096A
• 公開（公告）日: 2008-07-09
• 發明（設計）人: 武曄
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: H01J37/00
• 分類號: H01J37/00;H05H1/00;H01L21/3065
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司
• 代理人: 練光東

1.一種快速RF自動阻抗匹配方法，其特征在于：

采用至少兩個不同的比例系數和死區大小來使阻抗位置向匹配點靠近。

2.如權利要求1所述的快速RF自動阻抗匹配方法，其特征在于：在阻抗位置距匹配點較遠時，選擇較大的比例系數k1、k2和死區ΔZ、Δθ，以保證快速進入死區；當阻抗位置在匹配點附近時，相應減小比例系數k1、k2和死區ΔZ、Δθ，以保證匹配精度。

3.如權利要求2述的快速RF自動阻抗匹配方法，其特征在于：利用與匹配網絡輸入阻抗模值相關的誤差信號|Z|_error來調節并聯電容C1，利用與匹配網絡輸入阻抗相角相關的誤差信號θ_error來調節串聯電容C2；在阻抗位置距匹配點較遠時，|Z|_error和θ_error較大，反之，|Z|_error和θ_error較小。

4.如權利要求3所述的快速RF自動阻抗匹配方法，其特征在于：

采用雙比例系數和雙死區設置時，與匹配網絡輸入阻抗模值相關的誤差信號|Z|_error的比例系數為k₁₁、k₁₂且k₁₁＞k₁₂，其死區大小為ΔZ₁、ΔZ₂且ΔZ₁＞ΔZ₂＞0；

當|Z|_error＞ΔZ₁時，驅動真空電容C1旋轉的步進電機M1的位置變化量為ΔP₁＝k₁₁*|Z|_error＞0，C1值以較快的速度增大；當|Z|_error＜-ΔZ₁時，驅動真空電容C1旋轉的步進電機M1的位置變化量為ΔP₁＝k₁₁*|Z|_error＜0，C1值以較快的速度減小；

當ΔZ₂＜||Z|_error|＜ΔZ₁時，|Z|_error落入死區1，比例系數切換為k₁₂；若ΔZ₁＞|Z|_error＞ΔZ₂，則ΔP₁＝k₁₂*|Z|_error＞0，C1以較慢的速度增大；若-ΔZ₁＜|Z|_error＜-ΔZ₂，則ΔP₁＝k₁₂*|Z|_error＜0，C1以較慢的速度減少。

直到-ΔZ₂＜|Z|_error＜ΔZ₂時，|Z|_error落入死區2，電機停止運轉。

5.如權利要求4所述的快速RF自動阻抗匹配方法，其特征在于用θ_error調節真空電容C2的方法與調節C1的|Z|_error的方法相同。

6.如權利要求4或5所述的快速RF自動阻抗匹配方法，其特征在于也可用伺服電機和空氣電容替代所述步進電機和真空可變電容作為本方法的執行機構。

7.如權利要求1所述的快速RF自動阻抗匹配方法，其特征在于至少兩個的比例系數和死區設置，在選取時可以相互配合，找到解決各種問題的最佳配置。

8.如權利要求1所述的快速RF自動阻抗匹配方法，其特征在于本方法適用于L型網絡、T型網絡或π型網絡的兩個可變阻抗元件的匹配網絡。