[發(fā)明專利]一種等離子刻蝕設(shè)備的刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)裝置與方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710062687.1
• 申請(qǐng)日: 2007-01-12
• 公開（公告）號(hào): CN101221891A
• 公開（公告）日: 2008-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L21/00
• 分類號(hào): H01L21/00;H01L21/66
• 代理公司: 北京凱特來(lái)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 鄭立明;姚巍

1.一種等離子刻蝕設(shè)備的刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)裝置，其特征在于，包括，

光譜儀，將檢測(cè)到的等離子刻蝕設(shè)備內(nèi)部的光信號(hào)，轉(zhuǎn)換為模擬電信號(hào)輸出；

模擬放大濾波電路，將模擬電信號(hào)中的高頻噪聲干擾信號(hào)濾除，輸出消除高頻噪聲干擾信號(hào)的模擬電信號(hào)；

模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換模塊，將消除高頻噪聲干擾信號(hào)的模擬電信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字電信號(hào)輸出至數(shù)字信號(hào)處理模塊；

數(shù)字信號(hào)處理模塊，提高輸入的數(shù)字電信號(hào)的信噪比、去除系統(tǒng)固有噪音、并進(jìn)行濾波處理去除低頻與隨機(jī)噪聲，得到終點(diǎn)控制參數(shù)，并根據(jù)所述終點(diǎn)控制參數(shù)確定等離子刻蝕設(shè)備是否達(dá)到刻蝕終點(diǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子刻蝕設(shè)備的刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述的裝置還包括，

數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換模塊，將數(shù)字信號(hào)處理模塊輸出的終點(diǎn)控制參數(shù)轉(zhuǎn)換為模擬控制信號(hào)；

光譜儀控制電路，根據(jù)模擬控制信號(hào)通過限幅電路對(duì)光譜儀的輸出進(jìn)行調(diào)整，調(diào)節(jié)光譜信號(hào)的范圍，達(dá)到各個(gè)腔室的狀態(tài)匹配。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的等離子刻蝕設(shè)備的刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述的光譜儀為光電倍增管PMT式光譜儀，PMT接收等離子刻蝕設(shè)備內(nèi)等離子體發(fā)射的光譜，并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成模擬電信號(hào)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的等離子刻蝕設(shè)備的刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述的數(shù)字信號(hào)處理模塊包括，

積分測(cè)量模塊，多次采集輸入的數(shù)字電信號(hào)，進(jìn)行累加并取平均值作為一個(gè)采樣周期的采樣結(jié)果，提高數(shù)字電信號(hào)的信噪比；

系統(tǒng)固有噪音去除模塊，在等離子刻蝕設(shè)備不進(jìn)行工藝過程時(shí)檢測(cè)等離子刻蝕設(shè)備內(nèi)部的光信號(hào)，轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)作為系統(tǒng)的固有噪音，并從輸入數(shù)字信號(hào)處理模塊的數(shù)字信號(hào)中扣除系統(tǒng)固有噪音，以去除系統(tǒng)固有噪音；

數(shù)字濾波模塊，采用中位值平均濾波法去除輸入的數(shù)字信號(hào)中低頻噪聲與隨機(jī)噪聲；終點(diǎn)控制模塊，根據(jù)經(jīng)過積分測(cè)量方法、去除系統(tǒng)固有噪音與數(shù)字濾波后的數(shù)字信號(hào)，通過終點(diǎn)控制處理得到終點(diǎn)控制信號(hào)，用于確定等離子刻蝕設(shè)備是否達(dá)到刻蝕終點(diǎn)。