[發(fā)明專利]一種在紫銅表面制備納米厚度的薄膜表面的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710060653.9
• 申請日: 2007-12-28
• 公開（公告）號: CN101215698A
• 公開（公告）日: 2008-07-09
• 發(fā)明（設計）人: 劉明言;王琳琳;王燕;朱博
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: C23C22/34
• 分類號: C23C22/34;C23C22/77;C23C22/78;C23C22/82
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所
• 代理人: 王麗英

1.一種在紫銅表面制備納米厚度的薄膜表面的方法，其特征在于它包括以下步驟：

(a)對紫銅基片進行預處理，使其表面的粗糙度Ra控制在1μm以內并且用肉眼看不到任何沉積物；

(b)將化學純的氟鈦酸銨、分析純的硼酸分別配制成均一的溶液，并過濾雜質得到澄清的溶液，將兩種溶液按摩爾比1∶1-1∶5混合均勻，得到的混合液中氟鈦酸銨和硼酸的濃度分別為0.01-0.5mol/L和0.01-0.05mol/L；

(c)將制備的沉積液放在水浴中加熱至15-90℃，沉積液溫度恒定以后，將紫銅基片垂直放入溶液，使基片懸浮于溶液中，開始制備薄膜直至達到預定的厚度；

(d)沉積完畢后，將基片取出，用蒸餾水多次沖洗表面以去除表面殘留物；

(e)將基片在室溫下自然干燥10-48h，然后放入加熱裝置中加熱，加熱速率為0.5-10℃/min，當溫度升高到100-550℃時，保持恒溫0.1-5小時，關閉加熱裝置，自然冷卻后得到均一致密的氧化鈦薄膜表面；

所述的步驟(a)中的預處理步驟包括打磨、拋光和清洗步驟；所述的打磨步驟為利用200-500^#的金剛砂對紫銅基底進行打磨，待整個紫銅的表面均被黑色的金剛砂覆蓋后，再采用500-600^#的金剛砂繼續(xù)對上述基底進行打磨，直到500-600^#的金剛砂取代原來平鋪在基底上的200-500^#的金剛砂顆粒均勻的平鋪在紫銅基底上為止；所述的拋光步驟為首先使用1-5μm金剛砂研磨膏進行機械拋光，直到基底上黑色的金剛砂全部去除以后，再使用0.5-1μm金剛砂研磨膏繼續(xù)拋光，直到表面用肉眼看不到劃痕為止；所述的清洗步驟包括先用質量百分比為1-5％的稀鹽酸浸泡基片5-30分鐘，除去表面的氧化物；然后將基片浸入質量百分比為5-20％的氫氧化鈉溶液，同樣保持5-30分鐘，以除去部分油脂；將基片取出，在其上放適量的洗潔精，用脫脂棉進行反復擦洗，擦洗完畢后將基片先用蒸餾水沖洗干凈，再將此基片分別放入質量百分比大于99.7％的無水乙醇和質量百分比大于99.5％的丙酮中進行超聲清洗約5-30分鐘后取出，最后，用蒸餾水超聲清洗基片5-30分鐘，以徹底除去表面殘存的無水乙醇和丙酮，用電吹風吹干，置于密閉容器中保存。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種在紫銅表面制備納米厚度的薄膜表面的方法，其特征在于：所述的步驟(b)中的化學純的氟鈦酸銨溶液、分析純的硼酸溶液摩爾比為1∶2-1∶4。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種在紫銅表面制備納米厚度的薄膜表面的方法，其特征在于：所述的步驟(c)中的制備的沉積液放在水浴中加熱至20-50℃。