[發(fā)明專利]可實(shí)現(xiàn)多工位加工的硅片高速傳輸方法及傳輸系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710060004.9
• 申請日: 2007-10-23
• 公開（公告）號: CN101145538A
• 公開（公告）日: 2008-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王多;倪雁冰;楊志永
• 申請（專利權(quán)）人: 天津大學(xué)
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 天津市北洋有限責(zé)任專利代理事務(wù)所
• 代理人: 王麗英

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種IC制造工藝流程中的傳輸裝備及相應(yīng)的傳輸方法，尤其涉及一種可實(shí)現(xiàn)多工位加工的硅片高速傳輸方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)

目前在國內(nèi)硅片制造工藝流程中，硅片在各工位間的傳遞是由各類傳輸機(jī)器人裝備來實(shí)現(xiàn)的，硅片傳輸中的所有技術(shù)要求幾乎全部依賴于傳輸機(jī)器人的工作性能和運(yùn)動質(zhì)量。隨著IC產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展而出現(xiàn)的對硅片尺寸增大及生產(chǎn)效能提高的要求，對硅片傳輸機(jī)器人的運(yùn)動速度、工作空間以及運(yùn)動平穩(wěn)性等方面的要求越來越高，為滿足這些要求而進(jìn)行的硅片傳輸機(jī)器人的研發(fā)和制造成本也不斷增長。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種可以大幅提高生產(chǎn)率，同時(shí)減小占用的工作空間，降低整套設(shè)備的復(fù)雜程度和研制成本的可實(shí)現(xiàn)多工位加工的硅片高速傳輸方法及傳輸系統(tǒng)。

本發(fā)明的可實(shí)現(xiàn)多工位加工的硅片高速傳輸方法，它包括以下步驟：

(a)將硅片放置在硅片承載器上，并將所述的硅片承載器送到出片工位中轉(zhuǎn)盤上；

(b)調(diào)整出片工位中轉(zhuǎn)盤的轉(zhuǎn)速，使所述硅片承載器在所述出片工位中轉(zhuǎn)盤的帶動下獲得第一預(yù)定速度；

(c)所述硅片承載器經(jīng)所述出片工位中轉(zhuǎn)盤與傳輸軌道的傳輸接口進(jìn)入傳輸軌道，以脫離所述出片工位中轉(zhuǎn)盤時(shí)的速度朝第一工位中轉(zhuǎn)盤移動，在進(jìn)入所述第一工位中轉(zhuǎn)盤前，加大作用在所述硅片承載器上的阻力，使所述硅片承載器的速度迅速下降至第二預(yù)定速度，并以該第二預(yù)定速度從傳輸軌道與所述第一工位中轉(zhuǎn)盤的傳輸接口處進(jìn)入所述第一工位中轉(zhuǎn)盤，由所述第一工位中轉(zhuǎn)盤帶動平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)至所述第一工位的定位接口處并被移出第一工位中轉(zhuǎn)盤送入第一工位加工；

(d)硅片在所述的第一工位加工完成后，重復(fù)所述的(a)-，(c)步驟傳輸至下一工位，直至硅片到達(dá)收片工位。

一種可實(shí)現(xiàn)多工位加工的硅片高速傳輸系統(tǒng)，它包括多個(gè)間隔設(shè)置的其上開有定位接口和傳輸接口的中轉(zhuǎn)盤、連接相鄰中轉(zhuǎn)盤的底部設(shè)置有支撐的傳輸軌道、在傳輸過程中放置硅片的硅片承載器、在所述的每一個(gè)中轉(zhuǎn)盤的底部均設(shè)置伺服電機(jī)、在相鄰工位之間設(shè)置的將所述中轉(zhuǎn)盤和所述傳輸軌道包容在內(nèi)的防護(hù)密封管罩，所述的傳輸軌道與所述中轉(zhuǎn)盤是以相切的方式平滑連接的。

與現(xiàn)有技術(shù)比較本發(fā)明的傳輸方法和傳輸系統(tǒng)具有以下優(yōu)點(diǎn)：

本發(fā)明提供的硅片傳輸方法和傳輸系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)內(nèi)多工位同時(shí)加工操作，生產(chǎn)效率得到顯著提高。

本發(fā)明提供的硅片傳輸方法和傳輸系統(tǒng)，不受硅片尺寸規(guī)格的限制，能夠適應(yīng)各種規(guī)格尺寸的硅片，因此迎合了硅片大尺寸化的發(fā)展趨勢。

本發(fā)明提供的硅片傳輸方法和傳輸系統(tǒng)，使硅片易于實(shí)現(xiàn)高速度傳輸，且傳輸速度便于控制。

本發(fā)明提供的硅片傳輸方法和傳輸系統(tǒng)，可以在沿硅片傳輸線路的較小空間內(nèi)布置防護(hù)密封管罩，有利于傳輸系統(tǒng)內(nèi)部高潔凈要求的實(shí)現(xiàn)。

本發(fā)明提供的硅片傳輸方法和傳輸系統(tǒng)，由于組成系統(tǒng)的各部分結(jié)構(gòu)相對簡單，可以減少占地空間，降低研制成本。

本發(fā)明提供的硅片傳輸方法和傳輸系統(tǒng)，由于將輸送和定位兩種功能區(qū)別分開，因此對于未來在進(jìn)一步提高定位精度或傳輸速度方面，提供了良好的發(fā)展空間。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的未加防護(hù)密封管罩的可實(shí)現(xiàn)多工位加工的硅片高速傳輸系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1所示系統(tǒng)在設(shè)置了防護(hù)密封管罩后的局部圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明加以詳細(xì)描述。