[發明專利]基于原子力顯微鏡力曲線的納米梁厚度的非破壞測量方法無效
| 申請號： | 200710057125.8 | 申請日： | 2007-04-11 |
| 公開（公告）號： | CN101046374A | 公開（公告）日： | 2007-10-03 |
| 發明（設計）人： | 栗大超;徐臨燕;傅星;胡小唐 | 申請（專利權）人： | 天津大學 |
| 主分類號： | G01B21/08 | 分類號： | G01B21/08;B81C5/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限責任專利代理事務所 | 代理人： | 江鎮華 |
| 地址： | 300072*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 原子 顯微鏡 曲線 納米 厚度 破壞 測量方法 | ||
【說明書】：
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