[發明專利]柔性懸臂微機械光開關

無效

• 申請號: 200710056340.6
• 申請日: 2007-11-23
• 公開（公告）號: CN101158748A
• 公開（公告）日: 2008-04-09
• 發明（設計）人: 梁靜秋;李偉;梁中翥;馬文生;孫德貴
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;H01F5/00;H01F41/04
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所
• 代理人: 南小平

1.一種柔性懸臂微機械光開關，其特征是由基片(1)、開關固定端(2)、懸臂(3)、線圈(4)、線圈第一引線(5)、第一個引線壓點(6)、線圈第二引線(10)、第二個引線壓點(11)、永磁體(7)、棱柱形微反射鏡(8)組成；開關固定端(2)與懸臂(3)二者為一體，位于基片(1)上表面；開關固定端(2)的下表面與基片(1)上表面相接觸并固定，使懸臂(3)的一端在基片(1)上懸浮；線圈(4)位于懸臂(3)上表面遠離開關固定端(2)的一端，并固定在懸臂(3)上；線圈第一引線(5)和線圈第二引線(10)位于懸臂(3)、開關固定端(2)的上表面，并與之固定；第一個引線壓點(6)和第二個引線壓點(11)位于開關固定端(2)上表面，并與之固定；永磁體(7)位于線圈(4)的正下方，基片(1)下表面的凹坑中，并與基片(1)接觸固定；棱柱形微反射鏡(8)固定于線圈(4)的上方。

2.根據權利要求1所述的柔性懸臂微機械光開關，其特征是光開關在自然狀態時，懸臂(3)下表面與基片(1)上表面接觸。

3.根據權利要求2所述的柔性懸臂微機械光開關，其特征是線圈(4)采用雙層結構，兩層線圈由線圈連接柱在線圈螺旋線中心的A點連接在一起；在A點，第一層線圈上表面與線圈連接柱的下表面相連接，線圈連接柱的上表面與第二層線圈的下表面相連接；第一層線圈與第二層線圈的繞向相反。