[發明專利]高電阻常壓燒結碳化硅制品的生產方法

有效

• 申請號: 200710054911.2
• 申請日: 2007-08-08
• 公開（公告）號: CN101104560A
• 公開（公告）日: 2008-01-16
• 發明（設計）人: 蔡鳴
• 申請（專利權）人: 鄭州華碩精密陶瓷有限公司
• 主分類號: C04B35/576
• 分類號: C04B35/576
• 代理公司: 鄭州異開專利事務所
• 代理人: 韓華

1.一種高電阻常壓燒結碳化硅制品的生產方法，其特征在于：它包括下述步驟：

第一步：提純

將粒度為d50≥3.5μm的碳化硅粉加水在不銹鋼或內襯聚胺脂橡膠的容器中混合攪拌制成料漿，取硝酸、氫氟酸按照重量份1∶1的比例配制成混合酸液，按照碳化硅粉重量的5-10％加混合酸液，使其與料漿充分混合，然后用水沖淡，反復此過程2-3次；

第二步：打細

將第一步提純后的碳化硅料漿放入研磨機中研磨300-400小時，將碳化硅顆粒破碎至亞微粉級，使d50≤0.5μm；

第三步：配制噴霧造粒用料漿

將第二步所得料漿加水攪拌均勻，使水與碳化硅微粉的重量份配比為52-48∶48-52，再在其中加入3-12重量份的聚乙烯醇、0.5-4重量份的聚乙二醇、0.3-2重量份的碳化硼充分攪拌均勻制成料漿備用；

第四步：噴霧造粒整型

將第三步配制好的料漿用泥漿泵抽出，通過噴槍打入噴霧造粒塔頂部，料漿液滴在下落過程中被熱空氣烘干，落到造粒塔底部后即成為圓球形的碳化硅小顆粒，再用篩子篩選，得到80-240目的碳化硅粉料；

第五步：生坯成型

將第四步得到的碳化硅粉料放入生坯制品的模具中，粉料含水率為2-5％，然后用壓力機將粉料壓制成所需的生坯制品；

第六步：燒結

將第五步制得的生坯制品放入真空電阻爐內燒結，燒結溫度在2200-2300℃，燒結時間為12-18小時，即可得到具有高電阻的常壓燒結碳化硅制品。