[發明專利]圓環叉角型下柵控陰結構的平板顯示器及其制作工藝

無效

• 申請號: 200710054632.6
• 申請日: 2007-06-20
• 公開（公告）號: CN101071745A
• 公開（公告）日: 2007-11-14
• 發明（設計）人: 李玉魁
• 申請（專利權）人: 中原工學院
• 主分類號: H01J31/12
• 分類號: H01J31/12;H01J31/15;H01J29/02;H01J29/04;H01J1/304;H01J1/46;H01J9/02;H01J9/00
• 代理公司: 鄭州科維專利代理有限公司
• 代理人: 張欣棠;張國文

技術領域

本發明屬于平板顯示技術領域、微電子科學與技術領域、真空科學與技術領域以及納米科學與技術領域的相互交叉領域，涉及到平板場致發射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發射顯示器的器件制作方面的內容，特別涉及一種圓環叉角型下柵控陰結構的平板顯示器及其制作工藝。

背景技術

碳納米管具有優良的場致發射性能，具有高度的物理化學穩定性，非常適合于作為新型平板顯示器件的冷陰極材料。碳納米管場致發射顯示器是一種主動發光的平板顯示技術，具有全固體化、耐沖擊、高清晰度、高分辨率、響應速度快、工作溫區范圍廣等特點，可以用來制作點陣式顯示器、數碼管等各種顯示裝置，特別適用于儀器儀表用顯示裝置和家電顯示裝置，將在計算機顯示器和壁掛電視領域占有很大的市場份額，業已成為了新一代國際平板顯示技術的發展方向。

為了降低總體器件成本，以便于和常規的集成驅動電路相聯系，制作三極結構的碳納米管場致發射顯示器已經成為了一種必然的選擇。但是，由于柵極結構的加入，使得整體器件的制作變得更加的復雜起來。出于進一步降低柵極工作電壓的需要，就要盡可能縮減柵極結構和碳納米管陰極結構之間的距離，但同時還要防止二者之間的電學擊穿現象的出現，因此，無論是對絕緣材料的絕緣等級上，還是對絕緣材料的材料屬性和制作工藝方面，都對絕緣材料提出了更高更嚴格的要求。再有，真空的絕緣性能是優于絕緣材料的，在器件制作的時候可以充分的加以利用。柵極結構和陰極結構之間的電容效應也是值得關注的一個問題，很顯然，如果器件的電容效應很大的話，那么器件的工作頻率也是很難得到提高的。因此，在實際器件的制作過程中，對于這些問題都需要進行仔細的思考，從而進行高質量的顯示器件制作。

此外，在三極結構的平板場致發射顯示器件當中，在確保柵極結構對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進行穩定可靠、成本低廉、性能優良、高質量的器件制作。

發明內容

本發明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩定可靠、制作成功率高、結構簡單的圓環叉角型下柵控陰結構的平板顯示器及其制作工藝。

本發明的目的是這樣實現的，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層以及制備在陽極導電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結構以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上有柵極引線層、碳納米管以及圓環叉角型下柵控陰結構。