[發明專利]雙叉型側控陰極發射結構的平板顯示器及其制作工藝

無效

• 申請號: 200710054624.1
• 申請日: 2007-06-19
• 公開（公告）號: CN101093775A
• 公開（公告）日: 2007-12-26
• 發明（設計）人: 李玉魁
• 申請（專利權）人: 中原工學院
• 主分類號: H01J31/12
• 分類號: H01J31/12;H01J31/15;H01J29/02;H01J29/04;H01J1/304;H01J1/46;H01J9/02;H01J9/00
• 代理公司: 鄭州科維專利代理有限公司
• 代理人: 張欣棠;張國文

技術領域

本發明屬于平板顯示技術領域、微電子科學與技術領域、真空科學與技術領域以及納米科學與技術領域的相互交叉領域，涉及到平板場致發射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發射顯示器的器件制作方面的內容，特別涉及一種雙叉型側控陰極發射結構的平板顯示器及其制作工藝。

背景技術

碳納米管場致發射顯示器是一種新型的平面顯示設備，它利用碳納米管作為陰極材料，而取代了傳統陰極射線管顯示器中的熱電子槍，從而無延遲時間，響應速度更快。從碳納米管陰極發射的電子在陽極高電壓的作用下加速向陽極運動，轟擊熒光粉層而發出可見光，這種發光原理與陰極射線管顯示器的發光原理相似，因此它完全繼承了陰極射線管顯示器的高清晰顯示圖像質量。與液晶顯示器相比較，無論從顯示器尺寸、顯示亮度等方面，碳納米管場致發射顯示器都更具有優勢，是理想的下一代平板器件產品。

在目前所報道的大多數碳納米管陰極場致發射顯示器件當中，都采用了柵極結構位于碳納米管陰極結構上方的控制模式。由于受到柵極結構制作工藝及制作材料等因素的制約，這些顯示器普遍都存在著柵極電壓過高，顯示器件的亮度低，碳納米管陰極的發射效率不高等不利之處，而碳納米管陰極對于顯示圖像質量的影響作用也是不可忽視的。由于柵極結構和碳納米管陰極結構之間的絕緣材料具有一定的絕緣等級，一旦超過限度就會發生電學擊穿現象，因此縮減二者之間的距離從而降低柵極工作電壓的做法是受到一定程度限制的。由于從碳納米管陰極發射的電子束要經過柵極結構以后才能夠轟擊熒光粉層，因此碳納米管陰極的發射面積無法制作的更大，否則容易造成柵極失控，這也就意味著碳納米管陰極的有效電子發射面積是固定的，也就限制了進一步提高器件的顯示亮度。而這些問題都需要進一步的加以改進和解決。此外，在三極結構的平板場致發射顯示器件當中，在確保柵極結構對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進行穩定可靠、成本低廉、性能優良、高質量的器件制作。

發明內容

本發明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩定可靠、制作成功率高、結構簡單的雙叉型側控陰極發射結構的平板顯示器及其制作工藝。

本發明的目的是這樣實現的，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構成的密封真空腔；設置在陽極玻璃面板上的陽極導電層以及制備在陽極導電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結構以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上設置有柵極引線層、碳納米管以及雙叉型側控陰極發射結構。