[發(fā)明專利]工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710054607.8
• 申請(qǐng)日: 2007-06-19
• 公開（公告）號(hào): CN101075540A
• 公開（公告）日: 2007-11-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李玉魁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中原工學(xué)院
• 主分類號(hào): H01J31/12
• 分類號(hào): H01J31/12;H01J31/15;H01J29/02;H01J29/04;H01J1/304;H01J1/46;H01J9/02;H01J9/00
• 代理公司: 鄭州科維專利代理有限公司
• 代理人: 張欣棠;張國(guó)文

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。

背景技術(shù)

碳納米管陰極場(chǎng)致發(fā)射顯示器是一種新型的平板顯示設(shè)備，充分利用了碳納米管的冷場(chǎng)致發(fā)射特性，使用外加電場(chǎng)強(qiáng)度迫使碳納米管尖端發(fā)射電子，而非使用熱能，使得場(chǎng)致發(fā)射電子束的能量分布較窄且具有較高亮度。這種顯示器非常薄、輕，并且功耗低，能夠節(jié)省能源。場(chǎng)致發(fā)射顯示器在每一個(gè)像素點(diǎn)的后面都放置了成千上萬個(gè)電子源，使得場(chǎng)致發(fā)射顯示器能夠把陰極射線管顯示器的明亮清晰與液晶顯示器的輕、薄等優(yōu)點(diǎn)相結(jié)合起來，已經(jīng)成為了目前國(guó)際平板顯示領(lǐng)域的熱門話題。

柵極結(jié)構(gòu)是三極結(jié)構(gòu)場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器中的重要控制元件，它直接決定著碳納米管陰極的電子發(fā)射，具有其它元件所無法替代的功能。在目前大多數(shù)的顯示器件當(dāng)中，都采用了柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極結(jié)構(gòu)上方的控制模式，其優(yōu)越之處就在于柵極結(jié)構(gòu)的控制作用比較顯著，但是柵極電壓居高不下，所形成的柵極電流有些偏大，這是其不利之處，需要進(jìn)一步的改進(jìn)。由于從碳納米管陰極所發(fā)射的電子要經(jīng)過柵極結(jié)構(gòu)中的通道孔之后才能夠高速飛向陽極，轟擊熒光粉層而發(fā)出可見光。受到柵極正電壓的影響，部分所經(jīng)過的電子要受到柵極結(jié)構(gòu)的截留，從而形成柵極電流，這也就是柵極電流過于偏大的主要原因。受到具體制作材料的絕緣等級(jí)、制作工藝因素的限制，還不能無限制的將柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的距離縮減太小，否則會(huì)引起電學(xué)擊穿，這也就是柵極結(jié)構(gòu)工作電壓居高不下的主要原因。在實(shí)際器件的制作過程中，需要對(duì)上述不利之處都要進(jìn)行適當(dāng)改進(jìn)。究竟采用何種柵極結(jié)構(gòu)形式，如何進(jìn)一步減小柵極電流，如何降低柵極工作電壓等等，都是急需解決的問題。

此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對(duì)碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。

本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層、碳納米管以及工型側(cè)柵控結(jié)構(gòu)。