[發明專利]臺階型側柵控陰極發射結構的平板顯示器及其制作工藝

無效

• 申請號: 200710054596.3
• 申請日: 2007-06-19
• 公開（公告）號: CN101075530A
• 公開（公告）日: 2007-11-21
• 發明（設計）人: 李玉魁
• 申請（專利權）人: 中原工學院
• 主分類號: H01J31/12
• 分類號: H01J31/12;H01J31/15;H01J29/02;H01J29/04;H01J1/304;H01J1/46;H01J9/02;H01J9/00
• 代理公司: 鄭州科維專利代理有限公司
• 代理人: 張欣棠;張國文

技術領域

本發明屬于平板顯示技術領域、微電子科學與技術領域、真空科學與技術領域以及納米科學與技術領域的相互交叉領域，涉及到平板場致發射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發射顯示器的器件制作方面的內容，特別涉及一種臺階型側柵控陰極發射結構的平板顯示器及其制作工藝。

背景技術

碳納米管場致發射顯示器是一種基于陰極射線管顯示技術而研制出來的、利用碳納米管陰極的場致發射原理而制作的新型平板顯示設備，陰極陣列是由成千上萬個微型碳納米管發射源構成。這種顯示其兼顧具有陰極射線管顯示器和液晶顯示器兩類器件的諸多優點，具有完全平板化、超薄型、高分辨率、功耗低、無電磁輻射、無需背景光源、畫面尺寸大等特點，可以說，碳納米管陰極的場致發射平板顯示器是一種潛力巨大的平板顯示技術，應用前景非常廣泛，目前已經成為了國際平板顯示領域的熱門話題。

為了降低總體器件成本，以便于和常規的集成驅動電路相聯系，制作三極結構的場致發射顯示器已經成為了一種必然的選擇。而在目前的大多數三極結構場致發射平板顯示器中，往往都存在著柵極電壓居高不下、柵極電流過于偏大等不利之處。進一步縮短柵極結構和碳納米管陰極結構之間的距離，是降低柵極結構工作電壓的最直接最簡潔的方法，但同時也要受到絕緣材料的制作工藝、絕緣等級、材質屬性等因素的制約。因此，在保留這種可行方法的同時，還要從其它方面來更好的優化器件結構，促進柵極工作電壓的降低，以及減小柵極結構的工作電流。同時，為了進一步增大器件的顯示亮度，提高器件的顯示圖像質量，還需要更大的陽極工作電流，也就是需要更多的碳納米管陰極進行電子發射，這也是值得關注之處。因此，在實際器件的制作過程中，究竟如何降低柵極的工作電壓，減小柵極工作電流以及如何進一步增大器件顯示亮度等問題，都需要進一步加以解決，以便于進行高質量的器件制作。

此外，在三極結構的平板場致發射顯示器件當中，在確保柵極結構對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進行穩定可靠、成本低廉、性能優良、高質量的器件制作。

發明內容

本發明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩定可靠、制作成功率高、結構簡單的臺階型側柵控陰極發射結構的平板顯示器及其制作工藝。

本發明的目的是這樣實現的，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層以及制備在陽極導電層上面的熒光粉層；在陰極玻璃面板上有柵極引線層、碳納米管以及臺階型側柵控陰極發射結構；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結構以及消氣劑附屬元件。