[發明專利]熱線型氣體傳感器

無效

• 申請號: 200710054430.1
• 申請日: 2007-05-21
• 公開（公告）號: CN101059462A
• 公開（公告）日: 2007-10-24
• 發明（設計）人: 高勝國;鐘克創
• 申請（專利權）人: 鄭州煒盛電子科技有限公司
• 主分類號: G01N27/00
• 分類號: G01N27/00;G01N27/407;G01N27/12
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉芳

技術領域

本發明涉及一種傳感器，尤其涉及一種熱線型氣體傳感器。

背景技術

熱線型氣體傳感器在檢測可燃性氣體、有毒氣體等氣體濃度保障生產生活安全方面具有非常明顯的積極作用，目前使用的熱線型氣體傳感器的檢測元件部分大多采用球狀結構，加熱電阻所采用的鉑絲一般為手工繞制，球狀結構的敏感層與其所包圍的加熱電阻之間具有一定空隙。結構及制作工藝導致現有的熱線型氣體傳感器存在以下缺點：

1.抗震動性能不高，現有的熱線型氣體傳感器的檢測元件的支撐針腳少使得其抗震動性能不高。

2.由于手工操作的存在，使得現有的熱線型氣體傳感器的性能一致性、穩定性、生產效率比較低。

3.球狀結構的敏感層與其包圍的加熱電阻之間具有一定的空隙，使得現有的熱線型氣體傳感器的功耗較高。

發明內容

本發明所要解決的問題就是現有的熱線型氣體傳感器存在的上述問題。

為了解決本發明提出的上述問題，本發明提供了一種熱線型氣體傳感器，本發明的技術方案為：包括檢測單元，所述檢測單元包括襯底、加熱電阻、第一電極、第二電極、引線和敏感層，所述加熱電阻、敏感層、第一電極及第二電極為膜狀，所述襯底上依次設置第一電極、加熱電阻、第二電極和敏感層，所述第一電極和所述第二電極連通設置，所述第一電極及第二電極和所述引線連接。

本發明的檢測單元不再使用球狀結構，而是使用層次分明的平面結構，各層緊密結合，其支撐物也由兩根引線的支撐結構改變為平面形狀的襯底。通過對本發明的技術方案的分析，可以清楚的看到本發明具有明顯的進步：

1.抗震動性能明顯提高，平面結構的設計使得第一電極和第二電極及加熱電阻等與其附著物襯底緊密結合，將使本發明的抗震動性能提高的更為明顯。

2.省略了人工繞制加熱電阻絲等人工操作環節，使得本發明的性能一致性、穩定性、生產效率有了顯著提高。

3.由于加熱電阻、第一電極、第二電極及敏感層緊密的依次附著在隔熱性能優異的襯底上，使得本發明的加熱電阻的功耗明顯降低。

附圖說明

圖1為本發明實施例的檢測單元截面示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖及具體實施方式對本發明做進一步詳細說明。

在圖1所示的本發明實施例的檢測單元截面示意圖中，附圖標記與其所指示的組成部分的對應關系為：1-襯底，2-第一電極，3-加熱電阻，4-敏感層，5-第二電極，在襯底1上依次為膜狀的第一電極2、加熱電阻3、第二電極5和敏感層4，此種平面的結構改變了現有熱線型氣體傳感器的檢測單元的球狀結構，引線在圖中未示。

在該實施例中，采用96氧化鋁陶瓷作為襯底1的材料，其規格一般是長度為1-2毫米、寬度為1-2毫米、厚度為0.15-0.25毫米，采用二氧化釕(化學式為RuO2)或鉑(化學式為Pt)并加入其他化合物作為加熱電阻3的漿料，采用RuO2或金(化學式為Au)并摻雜其它化合物作第一電極2和第二電極5的漿料，采用絲網印刷方法，按照圖1所示的層次順序依次將第一電極2、加熱電阻3、第二電極5及敏感層4印制在襯底1上，采用粘接或焊接的方法將引線與加熱電阻3和第一電極2及第二電極5連接，應當用Pt、Au或者二者的合金作為引線。第一電極2和第二電極5的排列可以為條形或者L形等，但是第一電極2和第二電極5應當重合并且為連通設置，第一電極2、第二電極5及加熱電阻3應當印刷均勻一致，保證各層形狀完整。

為了更好的提高本發明的精確度和抗震動性能，可以將檢測單元與補償單元連接，并將補償單元設置在襯底1上，也就是說將補償單元設置在襯底1上與檢測單元同一面或者另一面，第一電極2及第二電極5和補償單元連接。

最后應說明的是：以上實施例僅用以說明本發明的技術方案而非對其進行限制，盡管參照較佳實施例對本發明進行了詳細的說明，本領域的普通技術人員應當理解：其依然可以對本發明的技術方案進行修改或者等同替換，而這些修改或者等同替換亦不能使修改后的技術方案脫離本發明技術方案的精神和范圍。