[發明專利]一種制備納米粉末和薄膜材料的裝置

無效

• 申請號: 200710053669.7
• 申請日: 2007-10-26
• 公開（公告）號: CN101147976A
• 公開（公告）日: 2008-03-26
• 發明（設計）人: 楊君友;段興凱;朱文;肖承京;李凱;李良彪
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: B22F9/14
• 分類號: B22F9/14;C23C14/22
• 代理公司: 華中科技大學專利中心
• 代理人: 曹葆青

1.一種制備納米粉末和沉積薄膜的裝置，其特征在于：坩堝(13)位于真空腔體(17)的底部，襯底裝置由電動機(1)，襯底支架(2)和襯底(3)組成，襯底支架位于真空腔體(17)的內腔頂部，電動機(1)與襯底支架(2)連接，襯底(3)安裝在襯底支架(1)的下面；粉末收集器的收集口與真空腔體(17)相通，送粉器安裝在真空腔體(17)的內壁上，送粉器的出粉口位于坩堝(13)的上方，

真空腔體(17)上開有進水口(9)、出水口(10)和保護氣體進口(11)；高真空機組(12)與真空腔體(17)相連，高頻高壓發生器(18)串聯在硅整流器(16)和鎢極氬弧焊槍(15)之間，硅整流器(16)的正、負極分別與位于真空腔體(17)內的鎢極氬弧焊槍(15)和坩堝(13)連接，鎢極氬弧焊槍(15)與坩堝(13)的距離為3-20mm之間。