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[發明專利]微波等離子低溫合成金剛石膜的方法無效

專利信息
申請號: 200710051244.2 申請日: 2007-01-11
公開(公告)號: CN101024893A 公開(公告)日: 2007-08-29
發明(設計)人: 周建;王琳;劉桂珍;歐陽世翕 申請(專利權)人: 武漢理工大學
主分類號: C30B29/04 分類號: C30B29/04;C30B23/08;C23C16/24;C23C16/513
代理公司: 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 代理人: 王守仁
地址: 430070湖北省武漢市*** 國省代碼: 湖北;42
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 微波 等離子 低溫 合成 金剛石 方法
【權利要求書】:
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